Occasion SEZ / LAM RESEARCH DV-34 #293754182 à vendre en France
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ID: 293754182
Taille de la plaquette: 8"- 12"
Single wafer etcher, 8"- 12"
(4) Chambers.
SEZ/LAM RESEARCH DV-34 est un graveur/asher conçu pour des processus nécessitant une gravure précise sur de grandes surfaces. Il est particulièrement conçu pour les applications de gravure de plaques semi-conductrices, de métal et de verre, qui contribuent à accélérer les temps de traitement tout en garantissant une précision de tolérance étroite. Il est activé par une conception unique qui comprend plusieurs modules de processus, chacun avec un équipement d'approvisionnement « anneau » pour les boues de processus ou les chimiographies organiques/aqueuses. Cela aide à délivrer les produits chimiques de manière stable et uniforme sur toute la surface de la plaquette ou d'autres matériaux en cours de traitement. Grâce à son système d'alimentation en anneau, SEZ DV-34 peut atteindre des temps de processus jusqu'à 40 % plus rapides que les systèmes traditionnels. Il assure également un contrôle et une répétabilité étroits des processus, ce qui est essentiel pour les microfabrications de haute qualité. Comme il peut traiter de grandes surfaces, l'graveur est capable d'optimiser la gravure des matériaux par uniformité sur toute la surface du substrat. De plus, l'unité comprend des fonctions automatisées de détection des points d'extrémité, lui permettant de suivre avec précision l'avancement de la gravure tout au long du processus. La machine comporte des fonctionnalités automatisées, telles que la possibilité de réguler la ligne d'échappement et de gaz remplaçables, qui lui permettent tous d'optimiser proactivement les profils de gravure. L'outil assure des lisières cohérentes tout au long du processus, tout en minimisant la variabilité des dépôts de silicate et d'autres paramètres. Il permet également de minimiser les contaminations en raison de son actif de filtre d'échappement et de son environnement en boucle fermée. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH DV-34 est un graveur/asher polyvalent spécialement conçu pour réaliser le processus de gravure de la plus haute qualité dans une vaste zone de substrat. Il s'agit d'un choix idéal pour les microfabrications nécessitant une précision et une répétabilité de tolérance, car il permet une gravure uniforme et optimisée dans tout le substrat. Le modèle utilise des composants sophistiqués, qui aident à assurer des performances fiables et cohérentes tout au long du processus. En tant que tel, c'est un choix efficace pour les processus de gravure nécessitant des résultats précis avec un contrôle étroit des processus.
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