Occasion SEZ / LAM RESEARCH DV-34 #293754183 à vendre en France

SEZ/LAM RESEARCH DV-34 etcher/aser est un équipement de gravure à sec puissant, fiable et rentable conçu pour les applications de production propre Volume et PML. Le système offre une qualité de gravure et une homogénéité supérieures grâce à une uniformité plasma optimisée. Il excelle dans toutes les étapes de gravure et est également adapté pour l'oxyde, le nitrure, le polyimide et les métaux, y compris le tungstène et l'aluminium. Le jeu d'outils polyvalent permet également de graver des caractéristiques topographiques précises telles que des chaînes, des fentes et des poteaux. Ce graveur à sec avancé est capable de travailler dans des plages de température allant de 0 à 750ºC et avec de multiples chimistries de gravure dont l'oxygène, le chlore, le floursilane et le tétrafluorure de carbone. L'unité dispose également d'un RF haute puissance avec un contrôle de plasma haut-bas et bas-haut personnalisable pour les modifications de gravure au besoin, et est équipée d'une console de télécommande facile à utiliser pour le contrôle de l'uniformité du plasma. Le coût et l'efficacité de fonctionnement sont améliorés avec un capteur de présence de monobloc en quartz étanche en option et un échappement automatisé pour maintenir les performances constantes de la maison de gravure. SEZ DV-34 etcher est conçu avec une grande redondance matérielle intégrée pour une disponibilité maximale et une fiabilité maximale avec une maintenance minimale. La chambre Plasmalab 3G/4G/5G est conçue pour nettoyer des dizaines de plaquettes en une seule charge et est capable d'offrir une excellente homogénéité de température. Compatible avec des films PECVD robustes et délicats, il est proposé avec un support BPSG en option. Il dispose également d'un étage de cuisson intégré chaleur/carte, avec des plaques chaudes ultra-plates pour les améliorations de processus et le contrôle de l'uniformité de la température. L'etcher est conçu pour respecter des règles strictes en matière de contrôle des exportations et comprend un certain nombre d'options de vérification de processus pour assurer l'exactitude et la répétabilité. Il est également équipé d'une machine innovante de suivi des plaquettes afin que les utilisateurs puissent rapidement localiser leurs plaquettes pour une récupération rapide. L'ensemble est soumis à des tests de stabilité cycle-à-cycle élevés pour augmenter le contrôle du processus. LAM RESEARCH DV-34 est un puissant graveur sec qui représente une solution idéale pour une gravure exigeante et des risques de production propres. Il est robuste et rentable avec une grande uniformité de plasma, une excellente qualité de gravure et l'homogénéité, ainsi qu'une redondance importante du matériel qui assure la disponibilité et la fiabilité. Il est également conçu pour respecter les réglementations d'exportation et est équipé d'un outil innovant de suivi des plaquettes.