Occasion SEZ / LAM RESEARCH DV-34 #293754186 à vendre en France
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ID: 293754186
Taille de la plaquette: 8"- 12"
Single wafer etcher, 8"- 12"
(4) Chambers.
SEZ/LAM RESEARCH DV-34 est un graveur/asher, utilisé pour des applications semi-conductrices. Il s'agit d'une solution entièrement intégrée et automatisée pour une variété de processus, y compris la gravure, l'ashing et la gravure propre des pulvérisateurs. L'équipement utilise une technologie éprouvée de gravure de précision 100 % simple et double face et dispose d'une plate-forme matérielle et logicielle hautement fiable. La SEZ DV-34 est équipée d'une source e-beam de 1000 W, capable d'effectuer une gravure/cueillette simple et double face. Les capacités de recuit thermique fournies par le système le rendent adapté aux matériaux à base de silicium. Sa conception et son débit élevé le rendent idéal pour une fabrication et des applications avancées à haut volume dans l'industrie des semi-conducteurs. En outre, la machine est équipée d'un outil de commande précis qui assure un contrôle précis des paramètres du processus. La capacité de surveillance intelligente de l'actif lui permet de détecter les défauts du substrat avant gravure/cueillette, économisant du temps et de l'argent. Le processus peut être adapté aux besoins de l'utilisateur, avec des options pour ajuster les paramètres de gravure pour un contrôle plus précis. Le logiciel interactif de contrôle des processus est également inclus, qui fournit des informations détaillées sur les processus en temps réel. Le logiciel crée un kit automatisé, afin que les utilisateurs puissent s'assurer que le processus de gravure/ashing est optimisé pour l'application souhaitée. Les capacités d'analyse des données du Logiciel permettent à l'utilisateur d'analyser les données du processus et de s'assurer que le processus est optimisé pour l'application souhaitée. Le modèle dispose également d'une conception à double chambre, qui permet d'effectuer plusieurs opérations de gravure simultanément. Cela élimine le besoin de systèmes autonomes multiples, ce qui le rend particulièrement adapté aux grandes séries de production. La conception à double chambre permet de maximiser l'uniformité des gravures, en veillant à ce qu'il y ait des différences minimes entre les substrats. L'équipement est conçu pour répondre à la norme SEMI 200, et dispose d'une large gamme de fixations compatibles prober, le rendant compatible avec un large éventail d'équipements de clients. Le système est également livré avec une garantie à vie étendue, assurant le soutien et la tranquillité d'esprit. En conclusion, LAM RESEARCH DV-34 etcher/asher est une unité avancée, entièrement intégrée, qui fournit des opérations de gravure/ashing de précision avec un impact environnemental minimal. La machine est équipée d'une puissante source de faisceau électronique, de fonctions de contrôle précises et de capacités d'analyse de données en temps réel, ce qui la rend adaptée à des applications complexes à grande échelle. Le design double chambre de l'outil, les fixations compatibles prober et la garantie à vie en font une solution fiable pour une variété de processus de gravure/ashing.
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