Occasion SEZ / LAM RESEARCH DV-34 #293758354 à vendre en France

SEZ/LAM RESEARCH DV-34 est un équipement de gravure et d'ashing innovant qui fournit des résultats précis et reproductibles pour une grande variété d'étapes de traitement liées à la fabrication de semi-conducteurs. La chambre du système est un modèle compact, en forme de cylindre qui se trouve à 1,2 mètres de haut avec un diamètre de 40cm. Il est adapté au traitement de petits lots, ce qui le rend idéal pour le développement de prototypes et de laboratoires de recherche. Il est également capable de gérer des emplois de production de volume élevé. SEZ DV-34 dispose d'un régulateur de pression, de température et de gaz qui permet la gravure précise et le cendrage de divers matériaux, dont le silicium, l'arséniure de gallium, le nitrure de gallium et l'aluminium. La pression dans l'unité est facilement contrôlable, avec une plage de 5 à 20 Torr et une limite de variation de 0,02 Torr. La machine dispose également d'un réglage de l'angle d'inclinaison du réacteur, permettant aux utilisateurs de contrôler avec précision les vitesses de gravure, ainsi que d'une vanne de grille entièrement intégrée pour l'adaptation des recettes. L'outil prend également en charge plusieurs sources de gaz, dont Argon, Oxygène, CF4/CHF3, NF3 et Cl2. Il comporte un moniteur de débit de gaz ligne par ligne pour la surveillance des gaz à l'entrée (type I) et à la sortie (type F). Il dispose également d'une gamme de capteurs, y compris un moniteur/compteur de débit massique porteur, un moniteur de pression de vanne de grille, et des mesures de régulation de pression dans l'ensemble de chauffage. Le logiciel de contrôle de processus pour LAM RESEARCH DV-34 est intuitif et convivial, avec une bibliothèque de recettes pour gérer d'autres recettes. Il dispose d'un actif de journalisation de données avec la possibilité de stocker jusqu'à 200 recettes et jusqu'à 2000 points de données. Il est capable de surveiller simultanément jusqu'à 20 paramètres en temps réel. Le logiciel puissant permet en outre une surveillance efficace des modèles, l'étalonnage et le contrôle des processus. Dans l'ensemble, DV-34 est un équipement de gravure et d'ashing puissant, précis et fiable qui fournit une gamme de fonctions puissantes pour aider les utilisateurs à tirer le meilleur parti de leur système. Il est parfait pour les laboratoires de recherche, les laboratoires de développement et les productions à haut volume.