Occasion SEZ / LAM RESEARCH DV-34 #9211222 à vendre en France

SEZ / LAM RESEARCH DV-34
ID: 9211222
Single wafer etcher (4) Chambers.
SEZ PV-34 est un graveur/asher utilisé pour diverses applications avancées de fabrication de semi-conducteurs. L'équipement utilise une combinaison de niveaux avancés de gravure plasma et de cendre plasma liquide pour graver avec précision et efficacité les matériaux semi-conducteurs cendres de tous types. Le PV-34 offre des performances de gravure supérieures, permettant un contrôle très serré de la taille, de la forme et de la passivation des ponts de circuit sur le substrat. Le PV-34 a une conception unique qui permet d'ajuster le processus de gravure de façon adaptative en temps réel, en tenant compte de variables de processus telles que la pression, la température et les mélanges de gaz. Ceci permet un contrôle serré de la forme et du profil de la gravure pour des formes complexes tout en assurant une excellente homogénéité, en réduisant le temps de traitement et en maintenant une qualité de surface et une répétabilité exigeantes. Le système intègre pleinement la technologie de gravure plasma et liquide la plus avancée disponible et comprend une large gamme de débits de gaz d'alimentation pour contrôler la densité et l'uniformité du plasma. En outre, l'unité est équipée de paramètres précis de température, de pression et de puissance ainsi que d'une suite de logiciels de contrôle pour adapter le processus de gravure à des tâches spécifiques. Le PV-34 est également équipé d'une gamme de fonctionnalités qui aident au fonctionnement et à l'entretien de la machine, telles que des messages d'alerte et d'alarme, un stockage complet des données, une bobine de reprise pour que les plaquettes puissent être rapidement transférées dans et hors de l'outil, et un actif de journalisation en temps réel. En outre, le modèle garantit que des processus complets peuvent être réalisés de manière automatisée via son interface utilisateur intuitive et son outil flexible de création de recettes. L'outil permet de créer des recettes (de la gravure simple aux motifs complexes) pour une utilisation répétée, augmentant l'efficacité. Ces caractéristiques, combinées à sa capacité de graver avec précision et de cendre une grande variété de matériaux semi-conducteurs, font de l' PV-34 un choix rentable et fiable pour les besoins avancés de fabrication de semi-conducteurs.
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