Occasion SEZ / LAM RESEARCH DV-34 #9267768 à vendre en France

SEZ/LAM RESEARCH DV-34 est un asher/etcher de précision, conçu pour traiter les substrats rapidement et de manière fiable en utilisant un équipement automatisé de livraison à deux températures. La conception complète de cette unité offre des performances standard pour les applications, y compris, mais pas seulement, par gravure, TMR par gravure, double damascène, gravure de grille, gravure de masque dur, enlèvement diélectrique inter-couches, gravure de dos de plaquette, et gravure isotrope. Cette unité dispose d'un double système de livraison de température pour améliorer la fiabilité et le débit de traitement. Les deux flux de température sont programmables indépendamment pour obtenir une gravure idéale ou des recettes propres. Cela se fait par l'utilisation d'un échangeur de chaleur unique pour le plateau supérieur et inférieur. L'unité SEZ DV-34 etcher/asher comprend également une machine de refroidissement par crue. L'outil de refroidissement est conçu pour refroidir uniformément la surface du substrat à une vitesse plus rapide. Cela permet une gravure plus précise et des recettes propres, ainsi que des rendements améliorés. LAM RESEARCH DV-34 est équipé d'un actif de gestion du gaz de procédé. Ce modèle permet une régulation précise des gaz de procédé, tels que l'oxygène, le chlore et d'autres gaz corrosifs. Cet équipement permet de simplifier les recettes et d'améliorer la pureté et le contrôle des procédés. L'adaptation de la chambre de ce système est rapide et facile, car la conception de la paroi chaude permet une adaptation rapide sans sacrifier l'intégrité de la chambre. Cette caractéristique de DV-34 permet également de réduire les coûts d'adaptation. Les techniciens de procédé dans le domaine sont également facilement en mesure d'effectuer le diagnostic plasma et le développement de processus avec cette chambre. Par ailleurs, SEZ/LAM RESEARCH DV-34 est alimenté par une série de contrôleurs intégrés et d'interfaces. Cela comprend une gamme complète d'options de contrôle, y compris une interface graphique conviviale, un éditeur de recettes et des fonctions de contrôle de processus statistiques avancées. Ces caractéristiques contribuent à améliorer les rendements et les processus simplifiés, et sont conçues pour améliorer la stabilité des processus pour une productivité élevée des outils. Enfin, cette unité permet une excellente stabilité à long terme avec une sélection de rinçages et de recettes de purge. Les recettes de purge aident à réduire la contamination et à améliorer l'efficacité du processus de gravure. Cela donne aux opérateurs l'assurance supplémentaire que le processus de gravure fonctionne comme prévu. En conclusion, SEZ DV-34 est une machine de graveur/asher polyvalente, efficace et fiable. Ses systèmes d'alimentation en double température et de refroidissement par crue assurent une uniformité et une meilleure précision du substrat. En outre, son logiciel intelligent et la gestion robuste du gaz de procédé assurent une excellente stabilité à long terme du processus pour des rendements optimaux.