Occasion SEZ / LAM RESEARCH DV-38 DS #9240169 à vendre en France

SEZ/LAM RESEARCH DV-38 DS etcher est un appareil de gravure plasma de pointe, prémélange, à basse pression et directement en aval. Cet etcher est spécialement conçu pour des applications nécessitant une qualité de gravure et une uniformité ultra élevées. SEZ DV-38 DS est le système de gravure idéal pour une variété de types de matériaux, y compris les matériaux semi-conducteurs composés, le nitrure de titane, le diamant et les masques durs au nitrure. Cette unité utilise une puissante machine de traitement du plasma en aval pour assurer d'excellentes vitesses de gravure. L'outil LAM RESEARCH DV-38 DS utilise une source de plasma à couplage inductif (ICP) pour la génération de plasma. Ce type de source de plasma offre une répétabilité supérieure, une longue durée de vie et des niveaux élevés de contrôle de pression. La pression est réglable pour optimiser les vitesses de gravure et l'uniformité tout en minimisant la contamination ou les « effets de mémoire ». La configuration des sources à double plasma augmente encore les performances et élimine la nécessité de reconstituer périodiquement les consommables. DV-38 DS est équipé de régulateurs de débit massique de précision pour le contrôle de basse pression et des quantités exactes de gaz de travail. L'actif dispose également d'injection de gaz variable avec la technologie de petite buse pour un débit de gaz très uniforme et un contrôle plus précis du bombardement ionique. Cela offre de meilleurs profils de caractéristiques, une meilleure définition, un meilleur taux de gravure isotrope et une meilleure sélectivité. Pour une meilleure uniformité des gravures et un enlèvement plus efficace des matériaux, le modèle SEZ/LAM RESEARCH DV-38 DS possède également une fonction « hot edge ». Cette fonctionnalité contribue à améliorer l'uniformité des gravures et rend les niveaux de puissance plus cohérents sur les bords de la plaquette. L'équipement SEZ DV-38 DS est conçu pour une production à haut volume avec un contrôle complet des processus à l'esprit. Il dispose d'une station de chargement/déchargement entièrement automatisée et d'un système de vide de haute qualité pour assurer des conditions de propreté constantes. L'interface pilotée par ordinateur permet d'accéder à tous les principaux paramètres du processus à partir d'un seul endroit. De plus, des modifications logicielles facultatives peuvent être apportées à l'unité pour améliorer encore la qualité et la répétabilité des gravures. Cet etcher avancé est un atout précieux pour ceux qui ont besoin de résultats de haute précision. La machine LAM RESEARCH DV-38 DS offre des vitesses de gravure, une uniformité et une répétabilité supérieures, permettant aux fabricants et aux chercheurs de traiter les matériaux en toute confiance.