Occasion SEZ / LAM RESEARCH DV-38 #9098878 à vendre en France
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Vendu
ID: 9098878
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2006
Etchers, 12"
Power: 400VAC / 3P+N , 63A, 50 / 60Hz
General data
Equipment platform:
(8) Chambers
Handling: Sankyo frontside
(1) Chemistry
Cassette loading:
Operator: Yes
Overhead transport system (OHT): Yes
Fab layout:
Through the wall: Yes
Front machine section:
Front frame:
(3) Load ports
Front section:
Robot & controller
Robot end effector
Main PC
Front FFU
Buffer station
Rear section:
General data for chemical blend module (CBM)
Material: FM-complaint (Mat.: PVDF)
Door hinges: Left
Position of CCC, UPS for CCC and hand shake box: Left
Position of monitor & keyboard: Left
Position of the CBM Type B: Seperate
CBM Type B connected to system: DV38F
Rear section:
ECO
FFU
Control cabinet
Process section Left:
PSL 1:
Process chamber
Chuck
Spindle unit
Dispenser motors
PSL 2:
Process chamber
chuck
Spindle unit
Dispenser motors
PSL 3:
Process chamber
chuck
Spindle unit
Dispenser motors
PSL 4:
Process chamber
chuck
Spindle unit
Dispenser motors
Gas facility box:
Regulators & MFC's
CDS:
Pump,valves, chemistry lines
General data for chemical blend module (CBM):
Material: FM-complaint(Mat.: PVDF)
Door hinges: Right
Position of CCC, UPS for CCC and hand shake box: Right
Position of monitor & keyboard: Right
Position of the CBM Type B: Seperate
CBM Type B connected to system: DV38F
Process Section Right:
PSR 1:
Process chamber
Chuck
Spindle unit
Dispenser motors
PSR 2:
Process chamber
chuck
Spindle unit
Dispenser motors
PSR 3:
Process chamber
chuck
Spindle unit
Dispenser motors
PSR 4:
Process chamber
chuck
Spindle unit
Dispenser motors
2006-2007 vintages.
SEZ/LAM RESEARCH DV-38 est un graveur durable et fiable qui fournit des résultats de traitement de haute qualité. L'équipement est disponible en configuration simple ou double chambre et dispose d'une capacité de montage automatique ou manuel des plaquettes. Le système comprend un mandrin de trois pouces qui est entraîné par un moteur linéaire à grande vitesse. Le mandrin est capable de mouvement horizontal, vertical et bidirectionnel, et l'unité fournit un profil de gravure/cendrage optimisé avec un intervalle de tranche à chambre de 0,005 « - 0,400 ». SEZ DV-38 intègre une machine numérique de positionnement des plaquettes (DWPS) avec un outil d'asservissement en boucle fermée pour un positionnement précis des plaquettes. Il dispose d'un outil intégré de contrôle et de surveillance des processus, qui comprend la mesure de la température des plaquettes, la pression de la chambre et la gestion des recettes. Le modèle est équipé de régulateurs de température et de débit en option, permettant des conditions de traitement précises et un contrôle serré des paramètres du processus. LAM RESEARCH DV-38 est conçu pour fournir un traitement rapide et précis des plaquettes standard et exploratoires. Une interface opérateur intuitive permet une configuration et un fonctionnement rapides, et l'équipement est conçu pour fournir un accès direct aux paramètres de processus. Le système est également conçu pour être extensible et capable de desservir une variété de dispositifs périphériques, tels que des systèmes de bande de résistance et de planarisation. Des configurations facultatives haute et basse pression sont disponibles, permettant une surpression pouvant atteindre 10 torr pour les processus à haut débit. DV-38 est destiné à être utilisé dans le traitement des plaquettes semi-conductrices et est capable de fournir des procédés de gravure et de cueillette de haute performance. Il offre une plate-forme robuste pour le traitement expérimental et le développement de processus, et est capable de fonctionner en mode par lots ou en continu. L'unité est facile à installer et à entretenir, et est capable de fournir des résultats cohérents et reproductibles.
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