Occasion SEZ / LAM RESEARCH DV-38DS #9040754 à vendre en France
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Vendu
ID: 9040754
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2006
Wet station, 12"
Frontside handling
(8) Chambers
Number of chemistry: 1
Operator cassette loading
Overhead transport system (OHT)
Through the wall
Front machine section:
Robot & controller
Main PC condition
Hard drive for IC/TC
Front FFU
Buffer station
(3) Load ports
Load port access: Light curtain
Asyst ISO port
Carrier ID reader
Asyst Advan-Tag
E 84 Parallel I/O
Front handling system: ECO end-effector, ceramic
Rear machine section:
ECO
FFU
Control cabinet
Left process section
(3) PSL: Process chamber, Chuck, Spindle unit, Dispenser motors
(1) PSL: Process chamber, Chuck, Spindle unit, Dispenser motors, Regulators, MFCs, Pump valve and chemistry lines
Right process section
(3) PSR: Process chamber, Chuck, Spindle unit, Dispenser motors
(1) PSR: Process chamber, Chuck, Spindle unit, Dispenser motors, Regulators, MFCs, Pump valve and chemistry lines
Components included
ATMI
AC Rack
DVR
Exhaust line kit
IPA module
Liquid Chemistry cabinet 1:
Media 1 supply: Filtration system and sampling port
Buffer option A1: Medium, PZ10 spiking pump
Buffer option B1: No medium
Paddle wheel
DI water
Inline cooler for temperature control
Flowmeter
Liquid Chemistry cabinet 2:
Media 2 supply: Medium / Temperature
Buffer option A2: Medium, PZ10 spiking pump
Buffer option B2: No medium
Paddle wheel
Horiba CM-210 chemical analyzer: (2) Process loop, (2) Preparation loop
Flowmeter for DI water
Gas supply
CO2 Injection: No
Overall features:
White light
Transparent windows
Transformer 208V/400V CE
Frame
Leak sensor box
Submodules:
Process chamber display
Digital video recording
Currently de-installed
2006 vintage.
SEZ/LAM RESEARCH DV-38DS est un équipement de graveur/asher spécialement conçu pour la gravure et la cueillette de photorésist et d'autres résidus sur une variété de substrats. Le système SEZ DV-38DS offre une gravure et un cendrage rapides et de haute précision, avec des processus à basse température et des temps de traitement courts. L'unité LAM RESEARCH DV-38DS utilise les technologies semi-conductrices les plus récentes telles que les ions réactifs chimiques pour la gravure et les lampes et sources laser pour le cendrage. Il est capable de traiter sur une large gamme de tailles de plaquettes, de 4 « à 12 ». La machine est conçue pour assurer une couverture uniforme et de haute qualité pour divers substrats, notamment le silicium, les oxydes, les métaux et la céramique. DV-38DS outil se compose de deux parties - l'outil lui-même et l'actif de contrôle associé. L'outil est un modèle compact, entièrement automatisé, conçu pour une utilisation facile et efficace. Il comprend un chargeur haute performance pour le chargement et le déchargement des plaquettes, une chambre de gravure haute performance pour la gravure des résines photosensibles et autres résidus, et une chambre de couchage pour la fusion des couches. La chambre de gravure et la chambre de cendrage sont toutes deux équipées de systèmes de contrôle thermique avancés pour assurer des résultats de traitement optimaux et une couverture uniforme. L'équipement de contrôle est conçu pour fournir à l'utilisateur un contrôle précis du système SEZ/LAM RESEARCH DV-38DS. L'unité est équipée d'une interface utilisateur intuitive, qui permet aux utilisateurs d'apporter des modifications à leurs processus en quelques clics. L'interface utilisateur permet aux utilisateurs de configurer la machine et de vérifier l'état de l'outil en temps réel. En outre, l'outil de contrôle peut être relié à un ordinateur distant, permettant un accès à distance facile aux données diagnostiques du modèle. L'équipement SEZ DV-38DS est conçu pour les opérations à faible volume et à haut volume. Son système de contrôle avancé peut être facilement modifié pour s'adapter à une variété de tâches de traitement. En outre, l'unité est conçue avec diverses caractéristiques de sécurité, telles que l'arrêt d'urgence, pour assurer la sécurité de ses opérateurs et de son équipement. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH DV-38DS est une machine avancée de graveur/asher spécialement conçue pour la gravure et la cueillette de photorésist et d'autres résidus sur une variété de substrats. Son outil de contrôle avancé permet un contrôle précis et son interface utilisateur intuitive le rend facile à configurer et à utiliser. Les caractéristiques de sécurité de l'actif garantissent la sécurité de ses opérateurs et de son équipement, et son alimentateur haute performance permet le chargement et le déchargement efficaces des plaquettes, ce qui fait de DV-38DS un excellent choix pour une variété de processus de gravure et de cueillette.
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