Occasion SEZ / LAM RESEARCH DV-38DS #9040754 à vendre en France

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ID: 9040754
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2006
Wet station, 12" Frontside handling (8) Chambers Number of chemistry: 1 Operator cassette loading Overhead transport system (OHT) Through the wall Front machine section: Robot & controller Main PC condition Hard drive for IC/TC Front FFU Buffer station (3) Load ports Load port access: Light curtain Asyst ISO port Carrier ID reader Asyst Advan-Tag E 84 Parallel I/O Front handling system: ECO end-effector, ceramic Rear machine section: ECO FFU Control cabinet Left process section (3) PSL: Process chamber, Chuck, Spindle unit, Dispenser motors (1) PSL: Process chamber, Chuck, Spindle unit, Dispenser motors, Regulators, MFCs, Pump valve and chemistry lines Right process section (3) PSR: Process chamber, Chuck, Spindle unit, Dispenser motors (1) PSR: Process chamber, Chuck, Spindle unit, Dispenser motors, Regulators, MFCs, Pump valve and chemistry lines Components included ATMI AC Rack DVR Exhaust line kit IPA module Liquid Chemistry cabinet 1: Media 1 supply: Filtration system and sampling port Buffer option A1: Medium, PZ10 spiking pump Buffer option B1: No medium Paddle wheel DI water Inline cooler for temperature control Flowmeter Liquid Chemistry cabinet 2: Media 2 supply: Medium / Temperature Buffer option A2: Medium, PZ10 spiking pump Buffer option B2: No medium Paddle wheel Horiba CM-210 chemical analyzer: (2) Process loop, (2) Preparation loop Flowmeter for DI water Gas supply CO2 Injection: No Overall features: White light Transparent windows Transformer 208V/400V CE Frame Leak sensor box Submodules: Process chamber display Digital video recording Currently de-installed 2006 vintage.
SEZ/LAM RESEARCH DV-38DS est un équipement de graveur/asher spécialement conçu pour la gravure et la cueillette de photorésist et d'autres résidus sur une variété de substrats. Le système SEZ DV-38DS offre une gravure et un cendrage rapides et de haute précision, avec des processus à basse température et des temps de traitement courts. L'unité LAM RESEARCH DV-38DS utilise les technologies semi-conductrices les plus récentes telles que les ions réactifs chimiques pour la gravure et les lampes et sources laser pour le cendrage. Il est capable de traiter sur une large gamme de tailles de plaquettes, de 4 « à 12 ». La machine est conçue pour assurer une couverture uniforme et de haute qualité pour divers substrats, notamment le silicium, les oxydes, les métaux et la céramique. DV-38DS outil se compose de deux parties - l'outil lui-même et l'actif de contrôle associé. L'outil est un modèle compact, entièrement automatisé, conçu pour une utilisation facile et efficace. Il comprend un chargeur haute performance pour le chargement et le déchargement des plaquettes, une chambre de gravure haute performance pour la gravure des résines photosensibles et autres résidus, et une chambre de couchage pour la fusion des couches. La chambre de gravure et la chambre de cendrage sont toutes deux équipées de systèmes de contrôle thermique avancés pour assurer des résultats de traitement optimaux et une couverture uniforme. L'équipement de contrôle est conçu pour fournir à l'utilisateur un contrôle précis du système SEZ/LAM RESEARCH DV-38DS. L'unité est équipée d'une interface utilisateur intuitive, qui permet aux utilisateurs d'apporter des modifications à leurs processus en quelques clics. L'interface utilisateur permet aux utilisateurs de configurer la machine et de vérifier l'état de l'outil en temps réel. En outre, l'outil de contrôle peut être relié à un ordinateur distant, permettant un accès à distance facile aux données diagnostiques du modèle. L'équipement SEZ DV-38DS est conçu pour les opérations à faible volume et à haut volume. Son système de contrôle avancé peut être facilement modifié pour s'adapter à une variété de tâches de traitement. En outre, l'unité est conçue avec diverses caractéristiques de sécurité, telles que l'arrêt d'urgence, pour assurer la sécurité de ses opérateurs et de son équipement. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH DV-38DS est une machine avancée de graveur/asher spécialement conçue pour la gravure et la cueillette de photorésist et d'autres résidus sur une variété de substrats. Son outil de contrôle avancé permet un contrôle précis et son interface utilisateur intuitive le rend facile à configurer et à utiliser. Les caractéristiques de sécurité de l'actif garantissent la sécurité de ses opérateurs et de son équipement, et son alimentateur haute performance permet le chargement et le déchargement efficaces des plaquettes, ce qui fait de DV-38DS un excellent choix pour une variété de processus de gravure et de cueillette.
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