Occasion SEZ / LAM RESEARCH DV-38F #9022266 à vendre en France
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Vendu
ID: 9022266
Style Vintage: 2007
System, parts machine
Chemical supply module
Missing parts: robot, stage, computer
Type: CBM-Type B
Position 1: LD, ULD Ports
Robot (Transfer unit): RBT (RS-8240)
Ionizer: Controller model 5024
Position 2: Buffer station
Robot (Transfer unit): Dual ECO Gripper left/right
Robot arm: Al anodized
Ionizer: AeroBar model 5285 (e)
Horiba HF monitor CM-210
Position 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9: PMR1-PMR4, PML1-PML3
Robot (Transfer unit): Rear machine handling - (Twin ECO gripper)
Chamber material: PP
Chamber shape: Ring type
Chamber chuck material: PVDF / PETP / Stainless steel
Robot arm: PVDF (Pins), PETP (Assembly)
Chamber lower section: PP
Chemical supply piping: PFA
Drain piping: PVDF
Chamber cleaning: DIW
Ionizer: QuadBar 4630-DS
ABB Protronic 500 Temp controller: in-line heater controller
Position 10: PML4
Robot (Transfer unit): Rear machine handling - (Twin ECO gripper)
Chamber material: PP
Chamber shape: Ring type
Chamber chuck material: PVDF / PETP / Stainless steel
Robot arm: PVDF (Pins), PETP (Assembly)
Chamber lower section: PP
Chemical supply piping: PFA
Drain piping: PVDF
Chamber cleaning: DIW
Trebor 110R Pump
Entegris 0.03um Filter
Quickchange disposable filter QCDYATMTF Housing
Ionizer: QuadBar 4630-DS
Position 11: CHC1L
Chamber material: PP
Chamber chuck material: PVDF / PETP / Stainless steel
Robot arm: PVDF (Pins), PETP (Assembly)
Chemical supply piping: PFA
Drain piping: PVDF
Siemens heater
Almatec chemical drain pump
Trebor 110R Pump
Entegris 0.03um Filter
Quickchange disposable filter QCDYATMTF Housing
Levitronix BPS-3 process supply pump
Position 12: CHC1L
Chamber material: PP
Chamber chuck material: PVDF / PETP / Stainless steel
Robot arm: PVDF (Pins), PETP (Assembly)
Chemical supply piping: PFA
Drain piping: PVDF
Siemens heater
Almatec chemical drain pump
Levitronix BPS-3 process supply pump
Position 13:
Chamber chuck material: Chuck drive unit Al - anodized
Megasonic: Honda-Ultrasonic flow meter USF100A type
230 VAC, 1 P+N, 50/60 Hz
Max current: 2 A
Breaking capacity: 10,000 AIC
2005 vintage.
SEZ/LAM RESEARCH DV-38F est un graveur/asher de haute performance conçu pour l'industrie des semi-conducteurs. Il s'agit d'un asher entièrement intégré offrant des capacités de traitement chimiques et plasmatiques dans le même récipient. Cela permet de le faire fonctionner comme un graveur, un asher, ou les deux pour un large éventail d'applications. C'est un graveur/asher haut de gamme qui a des temps de cycle rapides avec contrôle de dépôt de précision et uniformité des caractéristiques gravées. Il utilise le plasma à base d'ozone et le bombardement énergétique des ions pour graver avec précision les matériaux cibles avec une extrême précision. Il fonctionne à la fois sur des géométries 3D complexes et des films très minces. La conception unique de SEZ DV-38F est dotée d'un concept modulaire et multirôle permettant d'utiliser chaque module seul en tant qu'unité autonome ou d'être connecté à d'autres modules dans des configurations complexes pour des applications plus spécialisées. Avec ses caractéristiques puissantes et polyvalentes, il est capable de traiter une grande variété de matériaux, y compris les oxydes métalliques, le silicium, les nitrures composés et le silicium polycristallin. Le graveur/asher est compatible avec une large gamme de matériaux et de produits chimiques, ce qui en fait un outil idéal pour le traitement des oxydes métalliques, des nitrures composés, du tungstène et du silicium polycristallin pour la fabrication de dispositifs à grande échelle. Le système de livraison embarqué permet de poursuivre le traitement de ces matériaux dans le même cycle de procédé en une seule étape, ce qui fournit un plus grand débit de production. Le graveur/asher a jusqu'à quatre portes antichambre qui peuvent être ouvertes ou fermées pour éviter la contamination pendant le traitement. De plus, il dispose d'une vaste gamme de dispositifs de sécurité pour s'assurer qu'aucun dommage n'est causé au personnel ou à l'appareil traité. LAM RESEARCH DV-38F est un graveur/asher haut de gamme capable de produire d'excellents résultats tout en conservant un grand débit de production. Avec son contrôle de précision avancé et ses cycles de processus efficaces, il est un outil idéal pour ceux qui recherchent un graveur/asher avancé.
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