Occasion SEZ / LAM RESEARCH DV-38F #9022268 à vendre en France

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ID: 9022268
System, parts machine Position 1: LD, ULD Ports Robot (Transfer unit): RBT (RS-8240) Ionizer: Controller model 5024 Position 2: Buffer station Robot (Transfer unit): Dual ECO Gripper left/right Robot arm: Al anodized Ionizer: AeroBar model 5285 (e) Horiba HF monitor CM-210 Position 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9: PMR1-PMR4, PML1-PML3 Robot (Transfer unit): Rear machine handling - (Twin ECO gripper) Chamber material: PP Chamber shape: Ring type Chamber chuck material: PVDF / PETP / Stainless steel Robot arm: PVDF (Pins), PETP (Assembly) Chamber lower section: PP Chemical supply piping: PFA Drain piping: PVDF Chamber cleaning: DIW Ionizer: QuadBar 4630-DS ABB Protronic 500 Temp controller: in-line heater controller Position 10: PML4 Robot (Transfer unit): Rear machine handling - (Twin ECO gripper) Chamber material: PP Chamber shape: Ring type Chamber chuck material: PVDF / PETP / Stainless steel Robot arm: PVDF (Pins), PETP (Assembly) Chamber lower section: PP Chemical supply piping: PFA Drain piping: PVDF Chamber cleaning: DIW Trebor 110R Pump Entegris 0.03um Filter Quickchange disposable filter QCDYATMTF Housing Ionizer: QuadBar 4630-DS Position 11: CHC1L Chamber material: PP Chamber chuck material: PVDF / PETP / Stainless steel Robot arm: PVDF (Pins), PETP (Assembly) Chemical supply piping: PFA Drain piping: PVDF Siemens heater Almatec chemical drain pump Trebor 110R Pump Entegris 0.03um Filter Quickchange disposable filter QCDYATMTF Housing Levitronix BPS-3 process supply pump Position 12: CHC1L Chamber material: PP Chamber chuck material: PVDF / PETP / Stainless steel Robot arm: PVDF (Pins), PETP (Assembly) Chemical supply piping: PFA Drain piping: PVDF Siemens heater Almatec chemical drain pump Levitronix BPS-3 process supply pump Position 13: Chamber chuck material: Chuck drive unit Al - anodized Megasonic: Honda-Ultrasonic flow meter USF100A type 230 VAC, 1 P+N, 50/60 Hz Max current: 2 A Breaking capacity: 10,000 AIC Does not include chemical supply module.
SEZ/LAM RESEARCH DV-38F est l'une des gravures/cendres plasma les plus avancées disponibles pour le traitement des semi-conducteurs. C'est un équipement de graveur/asher à basse température, à faible puissance et haute performance qui peut être utilisé pour le dépôt de matériaux, la gravure et la planarisation de divers matériaux. Le système est conçu pour être polyvalent et fiable, permettant un contrôle précis du plasma et l'optimisation de la vitesse de dépôt. L'unité est composée d'une chambre, d'une boîte à gaz, d'une alimentation électrique, d'un contrôleur et d'une machine de filtration. La chambre est conçue pour contenir jusqu'à six plaquettes, ce qui permet à l'outil de traiter plusieurs plaquettes à la fois. Il est également équipé d'un couvercle thermiquement isolé qui maintient le contenu de la chambre à température constante. La boîte à gaz fournit les gaz nécessaires au traitement des plaquettes, y compris les gaz réactifs nécessaires à la gravure et au dépôt. L'alimentation est utilisée pour générer du plasma haute fréquence capable de contrôler avec précision l'énergie de bombardement ionique. Le contrôleur recueille les données de l'ensemble de l'actif et ajuste les débits de gaz et les réglages de puissance pour une gravure et un dépôt plasmatiques optimaux. Enfin, le modèle de filtration filtre les gaz d'échappement et assure un fonctionnement propre. SEZ DV-38F fournit un contrôle précis des processus de gravure et de dépôt, ainsi qu'une grande variété d'options de personnalisation et d'optimisation des processus. Il est capable de traiter des structures planes et tridimensionnelles, avec une grande uniformité sur plusieurs plaquettes. L'équipement est bien adapté à une variété de matériaux, avec des exigences de basse température et de faibles niveaux de consommation. De plus, LAM RESEARCH DV-38F dispose d'une interface conviviale avec accès à distance et autodiagnostic, permettant une configuration facile et une surveillance continue. Le système dispose également d'une unité de rétroaction instantanée qui fournit des données en temps réel sur le processus lui-même. Par conséquent, DV-38F est la solution parfaite pour toute installation de fabrication ou de recherche de semi-conducteurs à la recherche d'une machine de graveur/asher fiable et rentable.
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