Occasion SEZ / LAM RESEARCH DV-38F #9022268 à vendre en France
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Vendu
ID: 9022268
System, parts machine
Position 1: LD, ULD Ports
Robot (Transfer unit): RBT (RS-8240)
Ionizer: Controller model 5024
Position 2: Buffer station
Robot (Transfer unit): Dual ECO Gripper left/right
Robot arm: Al anodized
Ionizer: AeroBar model 5285 (e)
Horiba HF monitor CM-210
Position 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9: PMR1-PMR4, PML1-PML3
Robot (Transfer unit): Rear machine handling - (Twin ECO gripper)
Chamber material: PP
Chamber shape: Ring type
Chamber chuck material: PVDF / PETP / Stainless steel
Robot arm: PVDF (Pins), PETP (Assembly)
Chamber lower section: PP
Chemical supply piping: PFA
Drain piping: PVDF
Chamber cleaning: DIW
Ionizer: QuadBar 4630-DS
ABB Protronic 500 Temp controller: in-line heater controller
Position 10: PML4
Robot (Transfer unit): Rear machine handling - (Twin ECO gripper)
Chamber material: PP
Chamber shape: Ring type
Chamber chuck material: PVDF / PETP / Stainless steel
Robot arm: PVDF (Pins), PETP (Assembly)
Chamber lower section: PP
Chemical supply piping: PFA
Drain piping: PVDF
Chamber cleaning: DIW
Trebor 110R Pump
Entegris 0.03um Filter
Quickchange disposable filter QCDYATMTF Housing
Ionizer: QuadBar 4630-DS
Position 11: CHC1L
Chamber material: PP
Chamber chuck material: PVDF / PETP / Stainless steel
Robot arm: PVDF (Pins), PETP (Assembly)
Chemical supply piping: PFA
Drain piping: PVDF
Siemens heater
Almatec chemical drain pump
Trebor 110R Pump
Entegris 0.03um Filter
Quickchange disposable filter QCDYATMTF Housing
Levitronix BPS-3 process supply pump
Position 12: CHC1L
Chamber material: PP
Chamber chuck material: PVDF / PETP / Stainless steel
Robot arm: PVDF (Pins), PETP (Assembly)
Chemical supply piping: PFA
Drain piping: PVDF
Siemens heater
Almatec chemical drain pump
Levitronix BPS-3 process supply pump
Position 13:
Chamber chuck material: Chuck drive unit Al - anodized
Megasonic: Honda-Ultrasonic flow meter USF100A type
230 VAC, 1 P+N, 50/60 Hz
Max current: 2 A
Breaking capacity: 10,000 AIC
Does not include chemical supply module.
SEZ/LAM RESEARCH DV-38F est l'une des gravures/cendres plasma les plus avancées disponibles pour le traitement des semi-conducteurs. C'est un équipement de graveur/asher à basse température, à faible puissance et haute performance qui peut être utilisé pour le dépôt de matériaux, la gravure et la planarisation de divers matériaux. Le système est conçu pour être polyvalent et fiable, permettant un contrôle précis du plasma et l'optimisation de la vitesse de dépôt. L'unité est composée d'une chambre, d'une boîte à gaz, d'une alimentation électrique, d'un contrôleur et d'une machine de filtration. La chambre est conçue pour contenir jusqu'à six plaquettes, ce qui permet à l'outil de traiter plusieurs plaquettes à la fois. Il est également équipé d'un couvercle thermiquement isolé qui maintient le contenu de la chambre à température constante. La boîte à gaz fournit les gaz nécessaires au traitement des plaquettes, y compris les gaz réactifs nécessaires à la gravure et au dépôt. L'alimentation est utilisée pour générer du plasma haute fréquence capable de contrôler avec précision l'énergie de bombardement ionique. Le contrôleur recueille les données de l'ensemble de l'actif et ajuste les débits de gaz et les réglages de puissance pour une gravure et un dépôt plasmatiques optimaux. Enfin, le modèle de filtration filtre les gaz d'échappement et assure un fonctionnement propre. SEZ DV-38F fournit un contrôle précis des processus de gravure et de dépôt, ainsi qu'une grande variété d'options de personnalisation et d'optimisation des processus. Il est capable de traiter des structures planes et tridimensionnelles, avec une grande uniformité sur plusieurs plaquettes. L'équipement est bien adapté à une variété de matériaux, avec des exigences de basse température et de faibles niveaux de consommation. De plus, LAM RESEARCH DV-38F dispose d'une interface conviviale avec accès à distance et autodiagnostic, permettant une configuration facile et une surveillance continue. Le système dispose également d'une unité de rétroaction instantanée qui fournit des données en temps réel sur le processus lui-même. Par conséquent, DV-38F est la solution parfaite pour toute installation de fabrication ou de recherche de semi-conducteurs à la recherche d'une machine de graveur/asher fiable et rentable.
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