Occasion SEZ / LAM RESEARCH DV PRIME #9211223 à vendre en France

SEZ/LAM RESEARCH DV PRIME est un graveur/asher avancé, hautement fiable et économique conçu pour le traitement à haut débit de divers matériaux. Il fournit une solution intégrée pour diverses étapes du processus de dépôt, de gravure et de cendrage. L'etcher/asher est équipé d'une puissante source d'énergie RF à plusieurs fréquences, d'une chambre à longue durée de vie et d'un contrôle et d'une surveillance automatisés des processus. SEZ DV PRIME peut graver et asher une gamme de tailles de plaquettes, de 200mm à 450mm. Il dispose également d'une chambre multi-usage qui permet un traitement multi-niveaux. La chambre peut être équipée de multiples chimies de gravure telles que l'oxygène, le chlore, le fluor, le SF6 et le NF3, et d'une large gamme de matériaux de substrat tels que le silicium, l'oxyde de silicium, le nitrure, le poly-silicium, l'arséniure de gallium, le germanium et le cuivre, entre autres. Les fonctions automatisées de contrôle et de surveillance des processus réduisent les temps de gravure et permettent de reproduire les résultats des processus. La chambre est refroidie par ventilateur et équipée d'une grande variété de configurations d'électrodes supérieures et inférieures, offrant une flexibilité de conception pour des besoins de processus uniques. La chambre dispose également d'un moniteur de température à faible charge, d'un équipement de surveillance de la pression et d'un système de bullage pour l'alimentation des gaz en option. Un gaz inerte peut être utilisé pour la sécurité. La chambre comporte également une unité programmable de contrôle des gaz d'écoulement et un régulateur de température à 4 canaux avec une température minimale réalisable de -20 ° C La machine est conçue pour respecter les normes de sécurité applicables, y compris la certification CE et la certification ANSI. LAM RESEARCH DV PRIME etcher/asher est une solution de gravure et d'ashing fiable et polyvalente pour une variété de besoins de traitement à haut volume. Ses fonctions flexibles et automatisées de contrôle et de surveillance des processus peuvent réduire les temps de gravure et fournir des résultats de processus reproductibles. Sa chambre refroidie par ventilateur et ses configurations d'électrodes supérieure et inférieure personnalisables offrent des capacités de gravure et de cendrage de haute précision, ce qui le rend adapté à une variété de substrats. Son outil de sécurité des gaz inertes améliore sa fiabilité et sa sécurité de fonctionnement. L'actif est conçu pour être conforme aux normes de sécurité applicables.