Occasion SEZ / LAM RESEARCH FRM-203 #293815453 à vendre en France

SEZ / LAM RESEARCH FRM-203
ID: 293815453
Spin etchers Missing parts: chuck, motor, temperature control system, filter, pump, robot, robot control, chemical supply system, suckback valve Machine body corroded by acidic gas.
SEZ/LAM RESEARCH FRM-203 est un outil de graveur/asher très avancé et polyvalent utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour des procédés précis d'enlèvement des matériaux et de traitement de surface. Cet équipement de pointe est conçu pour répondre aux exigences strictes des procédés de fabrication de semi-conducteurs, tels que la gravure ionique réactive profonde (DRIE), la gravure plasma, le nettoyage de surface et le décapage photorésist. SEZ FRM-203 est équipé d'une gamme de capacités qui en font un outil essentiel pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Une de ses principales caractéristiques est son système de contrôle de haute précision, qui permet une gravure/cueillette précise et uniforme sur la surface de la plaquette. Cela garantit des performances et une fiabilité cohérentes du dispositif en minimisant les variations des taux de gravure et des profondeurs d'enlèvement des matériaux. L'outil etcher/asher est également hautement personnalisable, avec une variété de modules de processus et d'options de chimie des gaz disponibles pour répondre à différents types de matériaux et exigences de processus. Cette flexibilité permet aux fabricants de semi-conducteurs d'optimiser les paramètres de processus pour des conceptions et applications de dispositifs spécifiques, garantissant des performances et un rendement maximums. LAM RESEARCH FRM-203 se caractérise par ses capacités de débit élevées, permettant un traitement efficace des plaquettes et une efficacité de production accrue. Ses systèmes automatisés de chargement et de déchargement, combinés à des logiciels avancés de contrôle et de surveillance des processus, rationalisent les processus de production et réduisent au minimum les temps d'arrêt, ce qui accroît la productivité et réduit les coûts de fabrication. L'équipement est conçu en tenant compte des considérations de sécurité et d'environnement, avec des systèmes avancés de réduction des gaz et des mécanismes de contrôle des gaz d'échappement pour assurer la manipulation sûre des produits chimiques nocifs et des sous-produits. En outre, l'outil est équipé de dispositifs de sécurité complets et de procédures d'arrêt d'urgence pour protéger les opérateurs et prévenir les accidents en salle blanche. FRM-203 est construit avec fiabilité et durabilité à l'esprit, en utilisant des composants et des matériaux de haute qualité qui sont résistants à la corrosion et à l'usure. Sa construction robuste et ses procédures d'essai rigoureuses garantissent des performances à long terme et des exigences d'entretien minimales, réduisant le coût global de la propriété et assurant des calendriers de production ininterrompus. En termes de technologie, SEZ/LAM RESEARCH FRM-203 intègre des systèmes de production de plasma de pointe et des alimentations RF pour fournir des densités de plasma précises et uniformes pour des résultats optimaux de gravure et de cueillette. L'outil dispose également de capacités avancées de détection et de surveillance des paramètres pour permettre le contrôle des processus en temps réel et la détermination des paramètres, améliorant la répétabilité et le rendement des processus. Dans l'ensemble, l'outil SEZ FRM-203 etcher/asher représente un sommet de la technologie de traitement des semi-conducteurs, offrant une précision, une flexibilité, un débit et une fiabilité inégalés pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Ses fonctionnalités et capacités avancées en font un outil indispensable pour les installations de fabrication de semi-conducteurs de pointe qui cherchent à obtenir des performances et une efficacité de production de haute qualité.
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