Occasion SEZ / LAM RESEARCH RST 100-6 #293747989 à vendre en France

SEZ / LAM RESEARCH RST 100-6
ID: 293747989
Spin etchers.
SEZ/LAM RESEARCH RST 100-6 Asher/Etcher est un équipement multi-chambres, implant et Etch conçu pour fournir aux clients un ensemble d'outils de pointe pour la fabrication de dispositifs producibles à l'échelle microscopique. Ce SEZ RST 100-6 assure une détection et un contrôle précis du point d'extrémité, permettant la fabrication de substrats et de structures de dispositifs performants au niveau du nanomètre avec des substrats moins chers et moins d'étapes de processus manquées. Le système RST 100-6 de LAM RESEARCH comprend une chambre de détection de point d'extrémité dédiée, une chambre d'implant ionique avec une ou plusieurs sources d'ions et un sous-système d'indexation de la distribution des gaz de gravure (GDRI). Cette unité est capable de traiter une gamme complète de tailles de substrat de 2 à 5 en utilisant une variété de techniques de gravure incluant le faisceau ionique focalisé de précision, la gravure par pulvérisation et la gravure chimique. Il s'intègre également à divers systèmes de piste de plaquettes et systèmes de contrôle, ainsi qu'une gamme de systèmes de préparation et d'analyse d'échantillons. RST 100-6 etcher/asher dispose également d'un design très modulaire, permettant aux clients de facilement adapter la machine pour parfaitement correspondre aux exigences actuelles et futures de fabrication. La conception modulaire comprend la haute résolution, l'imagerie numérique haute vitesse, l'automatisation avancée des processus, le contrôle précis des points d'extrémité, et la personnalisation des critères des points d'extrémité. L'outil comprend en outre des éléments de radioprotection intégrés et des systèmes avancés de protection des chambres, ainsi qu'une technologie innovante de polarisation radiale et de verrouillage de la température pour compléter l'expérience utilisateur. L'actif est idéal pour les clients à la recherche d'un contrôle précis des processus d'implantation et de gravure. Les taux de gravure peuvent être ajustés à l'aide d'un ensemble de paramètres de processus, et le modèle est équipé d'indicateurs de sécurité, d'alarme, de verrouillage et d'état des processus pour assurer la sécurité des opérateurs. L'équipement est également capable de temps de cycle rapide, assurant une perte minimale de substrat et un temps de processus perdu. La conception à sources multiples offre une répétabilité sur le terrain ainsi que la capacité d'impacter les dopants chargés ou neutres. SEZ/LAM RESEARCH RST 100-6 offre également une rétroaction en temps réel des paramètres de processus et des critères de point final. Lorsqu'elle est combinée à une automatisation avancée des processus, la répétabilité des gravures est assurée, ce qui augmente le taux de réussite de la fabrication des appareils et, en fin de compte, maximise la satisfaction des clients. Utilisé correctement, le SEZ RST 100-6 est capable de produire des structures très précises avec des paramètres strictement contrôlés, permettant aux utilisateurs d'obtenir des résultats de haute précision de la manière la plus efficace possible.
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