Occasion SEZ / LAM RESEARCH RST 100-6 #293830231 à vendre en France

SEZ/LAM RESEARCH RST 100-6 est un équipement avancé de graveur/asher qui est applicable en tant que procédé de métallisation pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Le système est idéalement adapté pour les applications de production à haut volume ainsi que pour celles nécessitant un travail en ligne et une définition de motif fine et détaillée. SEZ RST 100-6 est conçu pour le traitement de substrats jusqu'à 200 mm x 200 mm, avec une taille par défaut de 0,35 um, réglable jusqu'à 0,20 um. Les niveaux résistifs à haute résolution prévus permettent la gravure de fines lignes sur Si, SiO2, polysilèces, aluminium et oxyde d'aluminium. L'unité comprend une chambre de suscepteur de quartz ou de céramique, avec une source de quartz ou de céramique Cl2/O2 qui sert à graver des résistances photosensibles et d'autres matériaux. LAM RESEARCH RST 100-6 utilise un procédé basse pression et basse température qui produit des lignes propres et à haute résolution, sans fixation de matériau sur les parois latérales. La machine offre un contrôle précis de la température et de l'ozone, ainsi qu'une exposition gamma de la plaque pour augmenter le débit. L'outil comprend également un processus basse et basse pression, qui peut réduire les processus totaux jusqu'à 10 %. L'actif offre une grande cohérence de processus et peut être utilisé pour des applications nécessitant un minimum de scumming. En outre, le modèle offre une technologie de vision intégrée, permettant un moniteur en temps réel et une sélection en ligne de plaquettes optimales, avec des niveaux de précision accrus et des déchets réduits. La RST 100-6 est contrôlée à l'aide du logiciel ICAM (Integrated Computer-Aided Manufacturing), permettant le contrôle en réseau du système depuis n'importe quel poste de travail. Dans l'ensemble, SEZ/LAM RESEARCH RST 100-6 etcher/asher est une unité automatisée de haute précision conçue pour des besoins de production à haut volume et à long terme, et qui réduit les coûts associés au processus de métallisation, le rendant idéal pour de nombreuses applications de fabrication de dispositifs semi-conducteurs.