Occasion SEZ / LAM RESEARCH RST 100 #9161499 à vendre en France
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SEZ/LAM RESEARCH RST 100 Etcher/Asher est un équipement semi-automatisé asher/etcher utilisé pour la gravure et la cueillette de matériaux en cours de production. Il est conçu avec une chambre de 4 pouces par 8 pouces et peut traiter une variété de matériaux, y compris les copeaux, le verre, le cuivre et les plaques de BPC. SEZ RST 100 est capable de traiter jusqu'à 50 plaquettes par tranche avec un temps de débit inférieur à 5 minutes par plaquette. LAM RESEARCH RST 100 est conçu avec un système de gravure haute vitesse, basse pression, sans huile et non contaminant. Cet appareil dispose d'un ordinateur personnel (PC) avec un écran LCD pour contrôler le temps de gravure et de cueillette, la température et la pression de la chambre. La machine dispose également d'un ascenseur automatisé pour transférer les plaquettes de l'etcher/asher au processus suivant permet un traitement rapide des plaquettes. RST 100 a une fonction supérieure de contrôle et de vérification des recettes de processus pour améliorer la surveillance et le contrôle des processus. Cet outil a un contrôle de profil thermique avancé, permettant une répartition uniforme des températures dans toute la chambre et des résultats de gravure et de cueillette uniformes. La température du procédé varie de 25 ° C à 525 ° C, et des pressions allant jusqu'à 25 Torr. SEZ/LAM RESEARCH RST 100 est également conçu avec une interface utilisateur fiable et facile à utiliser pour programmer facilement des plaquettes séparément en lots et avec un actif de protection par mot de passe pour les fonctionnalités de sécurité. Parmi les autres caractéristiques figurent une commande de dépression à plusieurs niveaux, une notification programmable de fin d'exploitation et un modèle d'arrêt récupérable ; permettant de recommencer le processus avec des paramètres nouvellement configurés. De plus, le SEZ RST 100 dispose d'un excellent équipement de sécurité, y compris une protection intégrée contre les pannes de courant, un système de protection contre la surpression, une unité de confinement chimique avec capteurs de surpression et de surpression et une machine de détection de l'ammoniac. LAM RESEARCH RST 100 est un excellent choix pour les processus de gravure et d'ashing, offrant un outil PC facile à utiliser avec un contrôle précis de la température et de la pression, une protection fiable et sécurisée par mot de passe, d'excellentes fonctionnalités de sécurité et une fonctionnalité de transfert automatisé des plaquettes. Avec ses fonctions avancées de contrôle et de vérification des processus, le RST 100 est une solution efficace et fiable pour la gravure et l'ashing des matériaux.
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