Occasion SEZ / LAM RESEARCH RST 101 #293652611 à vendre en France
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ID: 293652611
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1997
Spin etcher, 6"
Chamber
1997 vintage.
SEZ/LAM RESEARCH RST 101 est un équipement de gravure/cendres à haute température conçu pour fournir des résultats de gravure et de cendrage optimaux dans une grande variété d'applications. Ce système utilise les dernières technologies RF et DC pour une performance optimale et une facilité d'utilisation. L'unité est conçue pour traiter jusqu'à trois plaquettes dans une seule chambre et comprend une station de charge capable de traiter jusqu'à trois substrats en même temps. SEZ RST 101 dispose d'une zone de chauffage segmentée pour un contrôle précis des paramètres de gravure/cendres. La température peut être réglée entre 60 ° C et 110 ° C, avec des débits de gaz réglables et des pressions et la taille de la chambre de réaction réglable. Cette machine permet une gravure et un cendrage très sélectifs, avec des résultats toujours de haute qualité. LAM RESEARCH RST-101 dispose également d'un outil de contrôle « Multi-Process » unique, qui permet de sélectionner jusqu'à sept combinaisons gravures/cendres. Cet atout permet aux utilisateurs de basculer rapidement entre différents processus sans avoir à réinitialiser des paramètres ou démarrer avec une nouvelle configuration. De plus, le modèle fournit à l'utilisateur un accès à une bibliothèque de profils de gravure/cendres pré-programmés, ce qui simplifie encore le processus. Enfin, RST-101 est livré avec un logiciel qui peut être utilisé pour surveiller et ajuster les paramètres et la sélection de la chimie. Pour les plaquettes qui nécessitent un nettoyage post-gravure, SEZ/LAM RESEARCH RST-101 comprend un sèche-linge en spin-rinçage capable de fonctionner jusqu'à 1200 tr/min. Cette unité offre également une gamme d'options qui permettent un meilleur contrôle des processus et une plus grande flexibilité. LAM RESEARCH RST 101 est idéal pour toute application nécessitant des résultats précis de gravure/cueillette. Il est facile à utiliser et fournit des résultats exceptionnels. En outre, l'équipement emploie une gamme de fonctionnalités avancées qui fournissent un contrôle précis sur le processus, aidant à s'assurer que les utilisateurs obtiennent les résultats exacts qu'ils recherchent.
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