Occasion SEZ / LAM RESEARCH RST 101 #9099677 à vendre en France

SEZ/LAM RESEARCH RST 101 est un graveur/asher à plasma conçu pour fournir un traitement à haute performance pour les applications industrielles de dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma (PECVD) et de gravure sèche. Ce dispositif a une taille maximale de la chambre de processus de 8 pieds cubes et a la capacité de traiter à la fois les substrats de rapport d'aspect petit et grand. La SEZ RST 101 est capable d'atteindre le débit le plus élevé pour sa classe de taille. Il dispose d'une chambre de processus efficace et de faible volume, d'un système efficace de distribution de gaz et d'une fenêtre de processus réglable. Il est conçu pour affleurer les produits de réaction hors du substrat lors de la gravure, permettant une précision et une précision accrues. Une flexibilité puissante est fournie à l'utilisateur avec la possibilité de créer des recettes personnalisées pour les petits et grands substrats de plaquettes. LAM RESEARCH RST-101 etcher/asher est équipé d'un progiciel de diagnostic intégré conçu pour fournir une rétroaction détaillée sur le processus de gravure des plaquettes. Il est configuré avec une fonction d'automatisation avancée qui ajuste automatiquement la livraison, l'uniformité et d'autres aspects en fonction des conditions du processus. Le système peut être personnalisé pour exécuter une variété de gravures, y compris la gravure isotrope et anisotrope, la gravure directionnelle, le masquage dur pour la sélectivité et la gravure spéciale pour les applications de pile de couches minces. De plus, le graveur/asher peut être utilisé pour créer des revêtements protecteurs ou des couches à la surface des plaquettes afin de protéger les surfaces des contaminants et d'améliorer les performances du dispositif. RST-101 etcher/asher est conçu pour fonctionner dans un environnement de salle blanche avec une qualification de classe ISO 5. Il a une variété de caractéristiques qui assurent les normes de sécurité les plus élevées, telles qu'une armoire électronique, boutons E-stop, emboîtements, et la surveillance de la pression de la chambre de processus. Le dispositif comporte également un système de contrôle de source laser qui peut être utilisé pour contrôler avec précision la puissance et la durée du laser pour assurer un produit cohérent sans variation de qualité. En résumé, SEZ/My SEZ RST-101 etcher/asher est un appareil fiable et performant qui peut être utilisé pour graver et asher de petites et grandes plaquettes de rapport d'aspect avec précision et précision. Il est équipé des dernières fonctionnalités pour assurer un haut degré de sécurité, ainsi que d'une fonction d'automatisation avancée qui ajuste la livraison, l'uniformité, et d'autres aspects en fonction des conditions de processus. Le graveur/asher a également la capacité de créer des recettes personnalisées, ainsi que de créer des revêtements protecteurs à la surface des plaquettes. Il est configuré pour fonctionner dans un environnement de salle blanche avec une classe ISO 5. Avec ses capacités de haute performance, LAM RESEARCH/My LAM RESEARCH RST 101 etcher/asher est un appareil idéal pour les applications dans l'industrie des semi-conducteurs.