Occasion SEZ / LAM RESEARCH RST 201-8/6 #9394342 à vendre en France
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SEZ RST 201-8/6 est un graveur/asher, utilisé dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il est fabriqué par LAM RESEARCH, une société multinationale spécialisée dans la production et la distribution de gravures-cendres et autres équipements semi-conducteurs. Ce modèle est conçu pour le retrait de couches minces de matériau de la surface des plaquettes semi-conductrices, telles que les substrats saphir à motifs. Il s'agit d'un équipement de gravure humide, qui utilise des solutions chimiques pour graver les plaquettes à la forme et la taille souhaitées. SEZ/LAM RESEARCH RST 201-8/6 dispose d'un système de contrôle informatique entièrement automatisé, doté d'une interface écran tactile LCD et d'un logiciel avancé pour définir les paramètres et contrôler le processus de gravure. Il peut être programmé pour la gravure à une large gamme de températures, et la vitesse de gravure peut être ajustée pendant le processus est en cours. L'unité comprend un laveur latéral pour nettoyer les plaquettes avant la gravure, et un distributeur de gaz pour contrôler la production de chlore pour une gravure supplémentaire. La gravure elle-même est réalisée dans une chambre circulaire, dans laquelle la plaquette est mise en rotation lors de la gravure. La chambre elle-même est composée de deux couvercle rotatifs et les plaquettes sont tournées autour d'un arbre central. Le soudage par faisceau laser est utilisé pour éteindre la chambre pour les travaux d'entretien. De plus, le RST 201-8/6 est équipé de capteurs pour détecter les fuites ou les accidents qui pourraient survenir. SEZ RST 201-8/6 est capable de graver des plaquettes jusqu'à 8 pouces de diamètre, avec un débit jusqu'à 8 plaquettes à la fois. Il a une vitesse de gravure normalisée de 6nm/min, mais cette vitesse peut être augmentée jusqu'à 30nm/min selon le matériau à graver et la puissance de sortie du laser. De plus, la machine est capable de gérer à la fois des essais à petite échelle et des opérations de production à grande échelle. LAM RESEARCH RST 201-8/6 peut être utilisé dans une grande variété d'applications, depuis les substrats de fixation d'une largeur de ligne minimale de 0,1 micron jusqu'à la création de formes 3D complexes. C'est un outil fiable et économique qui peut être utilisé dans un large éventail de procédés de fabrication de semi-conducteurs.
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