Occasion SEZ / LAM RESEARCH RST 201-8/6 #9399478 à vendre en France

SEZ RST 201-8/6 est un équipement de gravure/cendrier avancé conçu pour effectuer une variété de processus de gravure, de cendrage et de nettoyage. Ce système est idéal pour les applications nécessitant une précision et une répétabilité élevées. Le RST201-8/6 comprend une chambre à vide, une source primaire de gaz de procédé, une unité de commande de la chambre à vide, un contrôleur de la source principale, et une série de sources de pulvérisation pour une gravure hautement sélective. La machine à vide fait partie intégrante des performances globales de LAM RESEARCH RST201-8/6. L'outil est capable de maintenir un niveau de vide de fonctionnement de 10-4 Torr à une pression maximale de 0,6 Torr. Cela garantit que les conditions du processus demeurent cohérentes au fil du temps, assurant une meilleure performance et une répétabilité du processus. La source de gaz primaire est constituée de quatre entrées de gaz, permettant l'introduction de SiH4, CHF3, O2 ou N2. Cela donne à l'actif la capacité de graver, asher ou nettoyer des matériaux dans une variété de processus. Pour assurer une gamme complète de performances, le RST201-8/6 dispose d'une série de douze sources de pulvérisation capables de délivrer une puissance uniforme à une large zone du substrat. Le modèle de contrôle du RST201-8/6 est basé sur le logiciel Labview et la programmation. Cette programmation permet à l'équipement de contrôler avec précision les paramètres du processus et d'autres paramètres afin de fournir les meilleurs résultats de processus possibles. La programmation permet également des procédures de démarrage et d'arrêt entièrement automatisées. Le RST201-8/6 de SEZ/LAM RESEARCH est un système de gravure/asher très polyvalent qui est idéal pour un large éventail d'applications. L'unité à vide offre une fiabilité et une répétabilité élevées tandis que la machine de commande permet l'ajustement fin des paramètres de processus pour obtenir les performances optimales. En combinaison avec la source de gaz primaire et les sources de pulvérisation, cet outil fournit les meilleures performances de gravure et de nettoyage disponibles dans l'industrie.