Occasion SEZ / LAM RESEARCH RST 201 #293595864 à vendre en France
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SEZ/LAM RESEARCH RST 201 est un équipement de gravure/asher automatisé de haute précision conçu pour les applications de recherche et de production. L'unité utilise des technologies avancées de gravure et de traitement pour permettre l'élimination contrôlée des substrats, ce qui conduit à des dépôts de haute qualité de matériaux conducteurs ou semi-conducteurs sur divers types de plaquettes. Le processus en deux étapes commence par un système de gravure à plasma d'oxygène qui utilise deux buses de gravure indépendantes à pivotement électromagnétique de 3 pouces et un faisceau de plasma guidé par laser. Cette étape permet de graver le matériau indésirable de la surface du substrat en le préparant au dépôt. La caractéristique unique et leader de l'industrie de la SEZ RST 201 est sa configuration à double faisceau, qui permet à la fois la gravure isotrope (égale à tous les angles), ainsi que la gravure directionnelle, selon l'application finale. Ensuite, LAM RESEARCH RST 201 dispose de SEZ 800 Asher qui dépose un matériau conducteur ou semi-conducteur sur la surface du substrat. L'unité dispose d'une unité logicielle embarquée sophistiquée pour contrôler les paramètres de dépôt, ainsi que de trois buses indépendantes à vide guidées par laser qui permettent un dépôt de précision. Enfin, la RST 201 comprend également une machine de manutention et de contrôle des processus. Le poste de travail intégré est équipé d'interconnexions de sécurité complètes, de systèmes de surveillance électronique et de modules de désassemblage et de diagnostic en ligne (ODD) qui permettent la maintenance automatisée et le dépannage. Dans l'ensemble, SEZ/LAM RESEARCH RST 201 est un outil puissant et de haute précision conçu pour fournir des résultats fiables et reproductibles sur une variété de matériaux et de substrats. Avec sa configuration à double faisceau et son contrôle de traitement variable, il est un choix fiable pour les utilisateurs à la recherche d'un actif de gravure et de génération haut de gamme.
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