Occasion SEZ / LAM RESEARCH RST 201 #293600300 à vendre en France
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ID: 293600300
Spin etcher
(4) Vertical ring chambers
Single wafer process for front and back side
Dispenser system
CDS System
DIW Arm
N2 Arm
Load system: (2) Open cassettes, 8"
Single arm robot with AL vacuum end effector
(2) ECO Swivel levers: Front / Back side wafer handling
Standard chuck, 8"
Vacuum end effector
LAUDA Heater exchanger
Temperature: 65°C
Power: 2.3 kW
Dry N2 monitor
Suck back system
Chemical drain tank
PVDF Tube / Tank material
PD Box
Speed motor
CDS With PC
Front side control table
PC and motor controller
Cables
Offline monitor
Heat exchanger temperature:
Warm / Fault: 65 ±2°C
Warm / Fault: 65 ±3°C
Medium X Flow:
Medium 3 Flow (SLM/MN): (HF: CH3COOH 505 LPM)
Safety:
EMO Type: Turn to release
Label: Emergency off
EMO Button guard ring
Water leak detector
DI Rinse flow: DIW (SLM/MN)
N2 Dry flow: (SLM/MN)
Chuck N2 Flow (SLM/MN): 275 ±25
Chuck spin speed (RPM):
During process step: 1000 ±100
Clean process step DI: 1000 ±100
Clean process step N2: 2000 ±100
Chuck pin, P/N: 2006830
ECO Pin, P/N: 2010343
ECO Motor, P/N: 2006775
Pump:
Return: Nippon pillar (Bellow pump)
Supply: Nippon pillar (Bellow pump with accumulator)
Suck back valve:
Filter
Chuck motor hauser
63A Line amperage
400 LPM Glass flow MFM Flow warm / Fault
Frequency: 50 Hz
Does not include:
Wafer defect system: Glass
Chemical filter
Touch screen monitor
Power supply: 200-208 V, 4 W, 3 Phase.
SEZ/LAM RESEARCH RST 201 est un équipement de graveur/asher conçu pour répondre aux exigences exigeantes des procédés de fabrication modernes. Il est conçu pour fournir un contrôle de processus supérieur et l'assurance de la qualité dans une variété d'applications de semi-conducteurs. Le système dispose de la technologie de traitement thermique rapide (RTP) pour graver rapidement et avec précision divers matériaux. Son unité de commande entièrement informatisée et ses commandes de mouvement de précision permettent une configuration rapide et facile, tout en fournissant des résultats cohérents et fiables. La machine dispose également d'une chambre de serrure légère, assurant une protection et une répétabilité optimales des échantillons. SEZ RST 201 est capable de gravure et de cendrage de haute précision dans des formats humides et secs. Sa conception physique unique et sa technologie RTP offrent la plus grande précision possible et les délais de traitement les plus rapides. De plus, la chambre de traitement polyvalente de l'outil permet une variété de tailles et de formes d'échantillons sans compromettre la précision du procédé. LAM RESEARCH RST 201 est également conçu pour une efficacité maximale, en utilisant les recettes de processus exclusives de LAM pour une performance optimale. La RST 201 est conçue avec une gamme de dispositifs de sécurité pour protéger les utilisateurs de toutes les conditions dangereuses et pour maximiser la sécurité dans l'espace de travail. La chambre est équipée d'un dispositif de sécurité intégré pour assurer la sécurité des travailleurs, et l'actif est conçu avec des systèmes de sécurité automatisés qui surveillent les conditions de la chambre et prennent des mesures pour limiter toute situation dangereuse. De plus, le modèle est construit avec des matériaux résistants à la corrosion et est conçu pour résister aux températures élevées et aux contaminants. SEZ/LAM RESEARCH RST 201 est livré avec une gamme de fonctions avancées de surveillance des processus et d'enregistrement des données. Un logiciel et un ordinateur dédiés permettent aux opérateurs de surveiller le processus en temps réel et de contrôler à distance l'équipement. En outre, il comprend le contrôle automatique de la recette et l'enregistrement des processus pour une traçabilité complète. Cela permet d'assurer la répétabilité et la cohérence des performances. Dans l'ensemble, SEZ RST 201 est un système graveur/asher exceptionnellement fiable et précis qui est idéal pour une variété d'applications de semi-conducteurs. Il offre des processus de gravure, de placage et de cendrage rapides et précis, et est conçu avec une gamme de caractéristiques pour assurer la sécurité et la répétabilité. Sa construction de haute qualité et sa programmation de pointe sont conçues pour résister à des années d'utilisation, offrant des performances à long terme, une productivité et des économies de coûts.
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