Occasion SEZ / LAM RESEARCH RST 201 #9228278 à vendre en France

SEZ/LAM RESEARCH RST 201 etcher/asher est un équipement sous vide automatisé conçu pour effectuer des étapes de processus dans la gravure, le dictage et le scribing des plaquettes semi-conductrices. Le système SEZ RST 201 utilise une source de plasma en aval pour permettre le traitement d'un large éventail de matériaux avec une grande fiabilité, uniformité et répétabilité. La chambre de procédé est construite en acier inoxydable et a un volume intérieur de 8 pieds cubes. La pression de l'unité ambiante est maintenue à 10-6 torr par deux pompes turbo-moléculaires (TMP) de 300 sccm, qui créent une différence de pression entre les entrées de la pompe. LAM RESEARCH RST 201 comprend également une machine hybride de verrouillage de charge, qui permet d'évacuer rapidement la chambre de verrouillage de charge, contournant la pompe principale lors du chargement et du déchargement du matériel. De plus, l'outil comprend également un injecteur de source chimique, quatre modules de gravure anisotrope et un moniteur de photodiode en ligne qui permet de surveiller en temps réel la rugosité des gravures de plaquettes. Les procédés réalisables sur l'actif RST 201 comprennent la gravure et la bande d'oxyde d'oxyde, la bande d'oxyde de silicium, le polissage chimico-mécanique, la gravure par ions réactifs profonds (DRIE), le dictage, le décapage et le scribing. En utilisant une source de plasma RF, le modèle est en mesure de graver une variété de matériaux avec un degré élevé de précision, tout en fournissant des parois latérales propres et très uniformes. L'injecteur de sources chimiques aide à délivrer les précurseurs chimiques nécessaires au processus de gravure, tandis que les quatre modules de gravure anisotropes fournissent la surgravure latérale nécessaire pour produire des profils lisses et inclinés. SEZ/LAM RESEARCH RST 201 est compatible avec une variété de tailles et de matériaux de plaquettes, ce qui en fait un outil idéal pour la gravure et le traitement des plaquettes semi-conductrices. L'équipement dispose également d'une interface utilisateur graphique conviviale (interface graphique), qui simplifie la configuration et le fonctionnement du système. L'unité est certifiée CE et offre une précision, une uniformité et une répétabilité exceptionnelles, ainsi qu'un faible temps d'arrêt de l'outil.