Occasion SEZ / LAM RESEARCH SM101-4-B #293747990 à vendre en France

SEZ / LAM RESEARCH SM101-4-B
ID: 293747990
Spin etcher.
SEZ/LAM RESEARCH SM101-4-B est un équipement de graveur/asher haute performance conçu pour des applications avancées de fabrication de semi-conducteurs. Cet outil de pointe offre des capacités de gravure et d'ashing précises, ce qui en fait un élément essentiel du processus de fabrication dans l'industrie des semi-conducteurs. Avec ses caractéristiques avancées et sa conception robuste, SEZ SM101-4-B est capable de répondre aux exigences exigeantes de la production moderne de semi-conducteurs, assurant un rendement élevé et une production de qualité. Une des caractéristiques clés de LAM RESEARCH SM101-4-B est ses capacités de traitement polyvalentes. Le système est capable de traiter un large éventail de procédés de gravure et de cueillette, ce qui le rend adapté à diverses applications dans la fabrication de semi-conducteurs. Qu'il s'agisse de la gravure du silicium, des oxydes, des nitrures ou des métaux, SM101-4-B fournit des résultats fiables et reproductibles, garantissant des performances de processus cohérentes pour différents matériaux et structures de dispositifs. L'unité est équipée de contrôles de processus avancés qui permettent un réglage précis des paramètres de gravure et d'ashing. En contrôlant des facteurs tels que les débits de gaz, la pression, la température et la puissance plasmatique, les opérateurs peuvent optimiser les conditions de processus pour atteindre les taux de gravure désirés, la sélectivité et le contrôle du profil. Ce niveau de contrôle du processus assure une excellente uniformité et répétabilité entre les plaquettes, ce qui permet une fabrication de dispositifs de haute qualité. SEZ/LAM RESEARCH SM101-4-B dispose d'une source de plasma haute performance qui génère un plasma réactif pour une gravure et un cendrage efficaces. La source de plasma est capable de produire des espèces très réactives qui interagissent avec la surface du substrat, facilitant l'élimination des matériaux par des procédés physiques et chimiques. Cela permet une gravure rapide et efficace de divers matériaux tout en minimisant les dommages aux couches sous-jacentes, assurant une excellente performance du processus et l'intégrité du dispositif. En plus de sa puissante source de plasma, SEZ SM101-4-B est équipé d'une machine sophistiquée de manutention des plaquettes qui assure un positionnement et une manipulation précis des plaquettes pendant le traitement. L'outil dispose de robotique avancée et de contrôles automatisés qui permettent un chargement et un déchargement efficaces des plaquettes, minimisant les temps de cycle et maximisant la productivité de l'outil. Ce niveau d'automatisation réduit également l'intervention de l'opérateur, améliorant l'efficacité et le débit global du processus. LAM RESEARCH SM101-4-B intègre des caractéristiques de sécurité avancées pour assurer la protection des opérateurs et la fiabilité des équipements. L'actif est équipé de systèmes de surveillance du gaz, d'interconnexions sous vide et de mécanismes d'arrêt d'urgence pour prévenir les situations dangereuses et les dommages causés à l'équipement. Cet accent mis sur la sécurité protège non seulement les opérateurs et les équipements, mais garantit également le respect des normes et des réglementations de l'industrie. Globalement, SM101-4-B est un modèle de graveur/asher de pointe qui offre des performances exceptionnelles, une polyvalence et une fiabilité pour la fabrication de semi-conducteurs. Avec ses contrôles avancés des procédés, sa source de plasma puissante, sa manipulation précise des plaquettes et ses caractéristiques de sécurité, SEZ/LAM RESEARCH SM101-4-B est capable de répondre aux exigences strictes des procédés modernes de fabrication de semi-conducteurs. En fournissant des résultats de haute qualité et en maximisant la productivité, cet outil joue un rôle crucial dans le développement de dispositifs semi-conducteurs de pointe.
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