Occasion SEZ / LAM RESEARCH SP 101 #9276809 à vendre en France

SEZ/LAM RESEARCH SP 101 est un équipement de gravure et de cueillette conçu pour la gravure humide et sèche. Il s'agit d'un outil idéal pour diverses applications de R-D telles que la passivation de la surface des plaquettes, le rétro-broyage des plaquettes et le dépôt de couches minces. La SEZ SP 101 est basée sur les technologies de gravure et de cendrage éprouvées de SEZ/LAM. Ce système améliore l'uniformité et la répétabilité des processus. Le matériel de traitement intégré et la solution de contrôle logiciel flexible permettent à LAM RESEARCH SP 101 de traiter un large éventail de substrats tels que des plaquettes semi-conductrices, des nanofils, des cellules solaires et des dispositifs à couches minces. SP 101 est conçu pour assurer un contrôle précis de l'environnement de l'échantillon qui est essentiel pour un contrôle précis du processus. Il dispose d'un contrôleur de température avancé et la capacité de maintenir un profil de température précis dans la chambre d'échantillon pour obtenir le meilleur contrôle de processus possible. De plus, SEZ/LAM RESEARCH SP 101 fournit également des paramètres de gravure précis grâce à ses faisceaux d'électrons programmables intégrés. Cela permet de pulvériser avec précision, de graver chimiquement et d'aspirer les matériaux. L'unité comprend également une technologie de balayage propre. Ceci permet une meilleure propreté de la plaquette, assurant une surface lisse pour la fixation ultérieure et le dépôt de couches minces. La SEZ SP 101 est conviviale, avec une interface graphique (interface graphique) facile à utiliser. Grâce à l'interface graphique, les utilisateurs peuvent choisir la recette de processus, saisir les paramètres de gravure et stocker les recettes de processus pour une utilisation future. L'interface graphique intuitive permet également un contrôle efficace des processus de gravure à plusieurs étapes et d'endormissement. LAM RESEARCH SP 101 est une machine de gravure et de cendrage fiable et robuste conçue pour répondre aux besoins des laboratoires de recherche. Il dispose d'un contrôle précis du procédé, permettant un dépôt précis en couches minces, ainsi qu'une uniformité et une répétabilité améliorées. De plus, son interface graphique conviviale simplifie la configuration de gravure et d'ashing tout en permettant à l'utilisateur de stocker des recettes de processus pour une utilisation future.