Occasion SEZ / LAM RESEARCH SP 200 #293816234 à vendre en France
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ID: 293816234
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1994
Spin etcher, 6"
1994 vintage.
* * Introduction * * SEZ/LAM RESEARCH SP 200 est un équipement de graveur/asher très avancé, conçu pour les procédés de fabrication de semi-conducteurs dans l'industrie de la microélectronique. Cet équipement de pointe intègre des capacités de contrôle de processus supérieures avec des technologies de gravure plasma de précision et d'ashing, permettant la fabrication de dispositifs semi-conducteurs de haute performance avec une qualité et une fiabilité exceptionnelles. * * Caractéristiques clés * * SEZ SP 200 dispose d'une pléthore de fonctionnalités innovantes qui le distinguent des graveurs/cendres classiques. Voici quelques-uns des points saillants : 1. * * Advanced Process Control * * : LAM RESEARCH SP 200 est équipé d'algorithmes avancés de contrôle des processus qui assurent un contrôle précis des taux de gravure, de la sélectivité et de l'uniformité. Ceci conduit à une meilleure stabilité et répétabilité du procédé, ce qui conduit à des performances et un rendement supérieurs du dispositif. 2. * * Multi-Process Capacity * * : La flexibilité de SP 200 lui permet de réaliser un large éventail de processus, y compris la gravure, l'ashing, le descum et la résistance au strippage. Cette polyvalence en fait une solution rentable pour diverses étapes de fabrication de semi-conducteurs. 3. * * Haut débit * * : Les capacités de traitement rapide de SEZ/LAM RESEARCH SP 200 permettent un traitement par lots efficace des plaquettes, ce qui entraîne une augmentation de la productivité et une réduction des temps de cycle de fabrication. 4. * * Performance supérieure de gravure * * : SEZ SP 200 utilise des techniques avancées de gravure plasma pour obtenir une gravure à haut rapport d'aspect avec une haute sélectivité et des dommages minimaux aux côtés. Il en résulte un transfert de motifs précis et des performances de l'appareil supérieures. 5. * * Caractéristiques de sécurité améliorées * * : LAM RESEARCH SP 200 est équipé d'une gamme complète de caractéristiques de sécurité, y compris des systèmes de détection des fuites de gaz, des mécanismes d'arrêt d'urgence et des systèmes d'interception pour assurer la sécurité des opérateurs et la protection de l'équipement. 6. * * Système efficace de livraison de gaz * * : SP 200 dispose d'une unité de livraison de gaz sophistiquée qui permet un contrôle précis des gaz de procédé, assurant des conditions de processus optimales et des résultats cohérents. 7. * * Interface conviviale * * : SEZ/LAM RESEARCH SP 200 est conçu avec une interface conviviale qui simplifie le fonctionnement et facilite la configuration et la programmation rapides. Les commandes logicielles intuitives permettent des réglages de paramètres faciles et une surveillance en temps réel des paramètres de processus. * * Applications * * SEZ SP 200 trouve des applications étendues dans l'industrie des semi-conducteurs pour divers processus, y compris : 1. * * Photoresist Stripping * * : LAM RESEARCH SP 200 est couramment utilisé pour asperger et dénuder les couches de photorésist des plaquettes semi-conductrices, assurant des surfaces de substrat propres pour les étapes ultérieures. 2. * * Descum * * : SP 200 élimine efficacement les résidus et les contaminants des plaquettes par le biais de processus descum, améliorant la fiabilité et les performances des dispositifs. 3. * * Etch and Pattern Transfer * * : SEZ/LAM RESEARCH SP 200 facilite les processus de gravure et de transfert de motifs de haute précision essentiels à la création de structures et de circuits complexes sur les plaquettes semi-conductrices. 4. * * Test et analyse des défaillances des dispositifs * * : SEZ SP 200 permet de tester et d'analyser les défaillances des dispositifs en fournissant des capacités de gravure précises pour révéler les structures internes et les défauts des dispositifs à semi-conducteurs. * * Conclusion * * En conclusion, LAM RESEARCH SP 200 est une machine de pointe de graveur/asher qui fournit des performances inégalées, la polyvalence et la fiabilité des procédés de fabrication. Avec ses caractéristiques avancées, son contrôle supérieur des processus et son fonctionnement efficace, SP 200 est un outil essentiel pour les installations de fabrication de semi-conducteurs qui cherchent à produire des appareils de haute qualité et à optimiser les flux de travail de fabrication.
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