Occasion SEZ / LAM RESEARCH SP 201 #293593037 à vendre en France
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SEZ/LAM RESEARCH SP 201 est un système de gravure et de cueillette de plasma de haute précision. C'est un excellent choix pour des applications nécessitant un placement précis, un retrait sélectif, une texture de surface directionnelle et une gravure délicate des diélectriques. En utilisant le plasma généré par une alimentation RF, avec une tension de polarisation facultative, le SEZ SP 201 est capable de réaliser des structures complexes de haute qualité sur des substrats de différents matériaux, y compris des semi-conducteurs, des métaux et des matières plastiques. LAM RESEARCH SP201 est équipé d'une taille de plaquette de 25 cm, d'une moyenne de puissance gazeuse de 2 à 3,3 W/cm2 et d'une distance cible/plaquette de 25 cm. Il dispose également d'une température maximale de 1250 degrés C et d'une plage de courant allant jusqu'à 30 mA. Ces caractéristiques se combinent pour créer un haut niveau de polyvalence et de précision qui lui permet d'obtenir certains des résultats de la plus haute qualité dans l'industrie de la gravure. Conçu pour augmenter la précision et la précision de gravure et de cendrage, SEZ/LAM RESEARCH SP201 est équipé d'une fonctionnalité « auto tune » qui permet d'assurer une correspondance optimale entre la source RF et le substrat. Il en résulte finalement un débit plus élevé et une meilleure qualité. En outre, la chambre dispose d'une pompe à vide flottante à haut rendement, d'un étalonnage au niveau de la plaquette, d'un mandrin auto-nivelant, d'un logiciel précis contrôlable « suivi de la vitesse de gravure » et d'un écran LCD contrôlé par ordinateur puissant pour une visualisation précise. SEZ SP201 est entretenu et entretenu par une équipe d'ingénieurs qualifiés, qui fournissent un soutien et un entretien continus. Des dispositifs de sécurité spécialisés tels que des soupapes de surpression et des régulateurs de gaz sont inclus pour assurer des opérations sans risque. Des mesures de sécurité sont en place pour protéger les opérateurs de tout problème de santé lié aux opérations plasmatiques. Au total, LAM RESEARCH SP 201 etcher/asher est un équipement fiable et précis pour la gravure et l'ashing avec une précision et un débit exceptionnels. Il est bien adapté pour des applications nécessitant un placement précis, un retrait sélectif, une texture de surface directionnelle et une gravure délicate de différents substrats. Pour ceux qui recherchent une machine qui offre un haut niveau de précision et de cohérence, SP 201 est un choix idéal.
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