Occasion SEZ / LAM RESEARCH SP 201 #9361814 à vendre en France
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SEZ/LAM RESEARCH SP 201 est un graveur/asher de pointe utilisé dans une variété d'industries pour un large éventail d'applications. L'équipement est capable de graver et/ou de soutirer une variété de matériaux avec une grande précision. Il est conçu pour être une solution intégrée, robuste et rentable. Le système est capable de graver et de soutirer jusqu'à quatre plaquettes à la fois. Il comporte quatre axes linéaires pour un contrôle et un alignement précis du mouvement du mandrin, du substrat et de la buse. L'unité est équipée d'un générateur RF pour fournir des niveaux précis de puissance aux substrats pour des processus de gravure et de cueillette précis et reproductibles. Il comprend également une station de pompage pour un contrôle facile du niveau de vide et une machine de purge de l'azote, permettant le contrôle de l'atmosphère dans la chambre de gravure. Sa conception multi-chambres permet diverses méthodes de traitement de surface, avec la première chambre d'élimination des contaminants, la seconde pour les traitements à haute énergie, et la troisième pour les vitesses de refroidissement rapide. De plus, son outil de verrouillage de charge permet de charger et décharger rapidement les substrats et les plaquettes semi-conductrices sans casser le vide de la chambre de procédé. SEZ SP 201 offre des performances avancées pour son prix et comprend des fonctionnalités telles que la résolution 12 bits, la commande de moteur de précision, l'auto-alignement de la buse, et la capacité de travailler avec les générateurs 5000 et 6000W RF. Il est également équipé d'une large gamme d'accessoires pour convenir à tout processus de gravure ou de cueillette. L'actif a un taux de fuite sous vide très faible, assurant un processus uniforme et des produits finaux propres. En outre, le modèle utilise des dispositifs de sécurité avancés tels que des dispositifs de sécurité multiples, des dispositifs de fermeture de chambres et des systèmes d'échappement primaire et secondaire. Cela garantit la sécurité et la fiabilité de l'équipement à toutes les étapes du fonctionnement. LAM RESEARCH SP201 est une solution idéale pour ceux qui nécessitent des processus de gravure et de cueillette précis. Il est conçu pour fournir d'excellents résultats et un point de prix rentable. C'est un graveur/asher très avancé qui peut améliorer n'importe quel processus de gravure et d'ashing et est un excellent choix pour toute application industrielle.
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