Occasion SEZ / LAM RESEARCH SP 201 #9384204 à vendre en France
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SEZ/LAM RESEARCH SP 201 est un graveur/asher conçu pour obtenir la plus grande précision possible en gravure microscopique. Capable d'être utilisé comme un outil autonome ou une partie d'un plus grand système, SEZ SP 201 est capable de gravure, cendre, dépôt en couches minces et plus encore. C'est une machine fiable et précise qui est bien adaptée à une grande variété de tâches de recherche et industrielles. LAM RESEARCH SP201 dispose d'une chambre de traitement à double substrat, permettant de graver deux substrats simultanément. Cette chambre double est optimisée pour un débit maximum, les deux recettes de substrat étant traitées indépendamment. La chambre est équipée de boucliers thermiques en quartz qui protègent l'ADN du substrat de la chaleur générée lors de la gravure. Les boucliers en quartz assurent également un contrôle précis de la température. L'etcher/asher dispose d'un système logiciel avancé contrôlant les différents paramètres tels que le courant de gravure, la tension, la température du substrat, la pression partielle de O2 et H2, l'épaisseur du substrat, et bien plus encore. Ceci permet à l'utilisateur d'utiliser l'graveur/asher pour diverses techniques de gravure sophistiquées ainsi que le dépôt de différents films minces métalliques et diélectriques. SP201 a une résolution de 0,5 μ m et une répétabilité de 0,5 μ m. Cela garantit une gravure et un cendrage extrêmement précis, ce qui rend SEZ SP201 idéal pour les applications nécessitant le plus haut niveau de précision. SP 201 est équipé de deux méthodes de gravure distinctes, qui peuvent être utilisées pour traiter une variété de matériaux de substrat. La gravure sèche est utilisée pour graver l'oxyde, le nitrure, les matières organiques et la plupart des métaux, tandis que la gravure humide est utilisée pour éliminer les films plus épais de métaux polycristallins. LAM RESEARCH SP 201 dispose également d'un dispositif anti-adhérence, qui aide à réduire les défauts anti-collage pendant le processus de gravure. SEZ/LAM RESEARCH SP201 est un graveur/asher doté de caractéristiques de haute précision et de haute répétabilité. Il est idéal pour effectuer différents types de gravure et de dépôt de couches minces avec la plus grande précision possible. Le graveur/asher peut rapidement traiter plusieurs substrats simultanément, ce qui en fait un outil efficace et efficient pour la recherche sur les matériaux et les applications industrielles.
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