Occasion SEZ / LAM RESEARCH SP 203 #9207192 à vendre en France

SEZ/LAM RESEARCH SP 203 est un graveur/asher plasma entièrement automatisé, conçu à des fins de recherche et de développement. Il utilise les dernières technologies pour produire des résultats de haute qualité. SEZ SP 203 dispose d'un équipement intégré d'isolation sous vide pour la commande maximale du processus, ainsi que d'un ensemble de contrôles automatisés pour un fonctionnement fiable et de paramètres de contrôle de la recette du processus. LAM RESEARCH SP 203 dispose de trois systèmes indépendants d'électrodes sans contact, permettant un contrôle indépendant du gaz, de la puissance et de la polarisation pour modifier les propriétés du plasma. Il a une pression de service maximale de 600mTorr et une pression de fonctionnement de 0,15 - 110mTorr, ce qui le rend adapté à une variété de gaz de procédé, tels que NF3, CHF3, NH3, AR, et CBr4. En outre, il dispose d'une source de décharge d'arc optimisée pour une focalisation plasma uniforme et la confiance. La SP 203 présente également une multitude d'autres caractéristiques pour la commodité et la fiabilité, telles qu'un système de surveillance de la température de surface du substrat, un obturateur intégré pour bloquer le faisceau entrant lors d'une gravure, et une unité de refroidissement robuste pour le contrôle de la température de l'échantillon. Il dispose d'une chambre d'isolement secondaire intégrée qui peut être utilisée pour produire des procédés de gravure et de décapage de haute précision et hautement contrôlés en éliminant la contamination croisée entre les échantillons. Pour garantir la qualité de la gravure, SEZ/LAM RESEARCH SP 203 dispose d'une machine de mise à la terre électrique complète, d'une surveillance des émissions optiques pour assurer l'uniformité de la sortie, ainsi que d'un outil de découpage RF. Pour maintenir l'intégrité du processus, SEZ SP 203 est livré avec une variété de fonctions de contrôle de recette et des fonctionnalités de sécurité avancées. Pour plus de commodité, il dispose d'une interface utilisateur graphique, qui permet une programmation et une configuration faciles de l'actif. En conclusion, LAM RESEARCH SP 203 est un graveur/asher très avancé et fiable qui présente les dernières avancées technologiques. Sa large gamme de caractéristiques lui permet de produire des résultats de haute qualité avec fiabilité, commodité et intégrité de processus.