Occasion SEZ / LAM RESEARCH SP 203 #9407543 à vendre en France

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ID: 9407543
Taille de la plaquette: 8"
Spin etcher, 8" Front UI ULPA Filter Ionizer system (2) Load ports (Left and Right): 8 Load-port adapters: 8 Chuck Size (Left and Right): 8" Chemical module1: DI SMIF Non-functional Power Distribution Box (PDB) Cables Does not include: Rear UI Flip module End point detection system HORIBA Concentration monitor (HF Monitor) (2) Heat exchangers Wafer ID Reader RFID Reader AGV Ozone module Transformer.
SEZ/LAM RESEARCH SP 203 est un équipement de haute précision de graveur/asher. Il fait partie de la série de recherche SEZ/LAM et est conçu pour répondre aux normes exigeantes requises pour les applications avancées de recherche et développement. SEZ SP 203 a été développé avec un système polyvalent et polyvalent qui permet un contrôle complet des processus de gravure et d'ashing. L'unité a un choix de quatre configurations de gravure ou de cendres avec une variété de systèmes de distribution et d'admission de gaz. Il est capable de graver ou de cendres avec une gamme de matériaux et de substrats, des couches simples ou multiples, des surfaces parallèles ou perpendiculaires, et avec de nombreuses épaisseurs différentes. LAM RESEARCH SP 203 dispose d'une large gamme d'options de contrôle, y compris une lecture numérique précise, qui peut être utilisée pour définir les paramètres souhaités pour la gravure ou l'ashing. Il dispose d'une jauge de gaz indépendante pour contrôler le débit et la pression du gaz, ainsi que d'un réglage de température réglable pour contrôler la vitesse de gravure, la température du substrat et la propreté de surface. SP 203 utilise un logiciel PC pour programmer des processus individuels de gravure ou de cendres et créer des recettes de cycle. Le logiciel dispose d'une interface graphique intuitive pour la configuration des processus, avec des menus faciles à utiliser et des commandes pour un fonctionnement facile. SEZ/LAM RESEARCH SP 203 dispose également d'une machine intégrée de sécurité et de surveillance pour assurer des conditions optimales pendant le processus de gravure ou d'ashing. Il utilise une technologie de détection avancée pour détecter tout événement potentiellement dangereux et éteindre automatiquement l'opération de gravure/cueillette. Il dispose également d'un outil d'alarme permettant la surveillance en temps réel du processus de gravure/cendres. SEZ SP 203 a un design convivial avec des performances élevées en tête. Sa conception avancée garantit précision, répétabilité et fiabilité dans tous les processus de gravure ou de cendres. Ses pièces de haute qualité offrent des performances et une fiabilité supérieures, tout en offrant une durabilité à long terme. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH SP 203 est une solution innovante et polyvalente pour les applications de gravure et d'ashing. Ses caractéristiques avancées et sa conception en font un choix idéal pour la recherche, le développement et la production. SP 203 offre une précision, une précision et une répétabilité élevées, ce qui en fait un outil idéal pour tout laboratoire ou environnement de production.
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