Occasion SEZ / LAM RESEARCH SP 223 #293775027 à vendre en France

SEZ/LAM RESEARCH SP 223 est un graveur/asher qui combine une ingénierie haut de gamme et des technologies innovantes pour répondre au mieux aux exigences des applications de wafer. SEZ SP 223 est un équipement flexible et complet qui dispose de modules de processus qui fournissent des fonctions avancées de primate et de contrôle du système. L'unité est entièrement configurable de 8 à 30 pouces de surface de traitement avec jusqu'à 200 mm pour une distribution uniforme, 8 étages motorisés de précision, et une capacité d'entraînement de 600 mm. Cela le rend adapté pour les grandes plaquettes et PDK ainsi que les masques et substrats simples. LAM RESEARCH SP 223 est équipé de divers modules de processus adaptés à une variété d'applications de gravure/asher. Le module RIE offre un contrôle précis des réactifs et des gaz, fournissant une caractéristique de gravure uniforme sur de larges applications de plaquettes. Le plasma chaud RIE permet un très large éventail de mélange de la chimie des gaz, ce qui le rend adapté à des matériaux plus complexes comme les nitrures, les oxydes et les polymères. Le module PDL avancé comprend un ensemble de fonctionnalités adapté aux dommages plasmatiques ultra-faibles, même dans les processus à basse température ou à bas vide. Les caractéristiques de la plaquette rapide permettent également des débits optimisés. La machine dispose également d'outils de processus robustes pour la cartographie automatisée des plaquettes. La carte avancée des plaquettes permet d'optimiser l'uniformité avec les systèmes de contrôle automatique de la rétroaction. L'outil offre également la plus grande propreté des plaquettes pour des rendements et une fiabilité plus élevés. L'interface basée sur la recette offre des outils de développement de processus en temps réel, tels que le générateur de processus pour la conception interactive, la programmation et les processus de chargement. SP 223 comprend également un outil intégré de détection en temps réel conçu pour surveiller l'ensemble du processus. SEZ/LAM RESEARCH SP 223 est équipé d'une chambre intégrée qui minimise la contamination moléculaire et particulaire. Le vide élevé et les pompes turbomoléculaires haut de gamme offrent un contrôle final du processus. L'ensemble comprend également des armoires à gaz de haute performance capables d'atteindre des conditions de débit de gaz inégalées pour une intégration facile des processus. Dans l'ensemble, le SEZ SP 223 est un graveur/asher qui combine les dernières étapes motorisées de précision, les fonctions avancées de contrôle des primates et des modèles, la propreté des plaquettes de meilleure qualité et les technologies d'automatisation de pointe. Il est adapté à une large gamme d'applications de gravure/asher et est idéal pour ceux qui recherchent un contrôle de haute précision et des performances de processus répétables.