Occasion SEZ / LAM RESEARCH SP 304 #293818314 à vendre en France

SEZ/LAM RESEARCH SP 304 est un graveur/asher à plasma conçu pour la fabrication de semi-conducteurs. Il a la capacité de graver, de cendres et d'amortir les matériaux semi-conducteurs avec un débit et une précision supérieurs. Cet équipement est bien adapté à la gravure et à l'amortissement des masques photorésistants pour le prototypage des puces, ainsi que pour la régression des surfaces pour la fabrication de LED, TFT et LCD. La SEZ SP 304 est équipée d'un système de contrôle scalaire avancé qui offre une excellente uniformité et répétabilité des processus sur une large gamme de configurations de substrat. Cette unité permet aux utilisateurs d'ajuster avec précision différents paramètres de traitement et temps de travail, qui peuvent être modifiés à la volée ou chargés à partir de programmes créés dans la machine. LAM RESEARCH SP 304 utilise également un générateur RF à forte puissance, permettant la gravure à haut débit et le cendrage sur divers substrats. La SP 304 offre une combinaison unique de capacités de gravure et de cendrage améliorées, permettant de graver et de cendrer les substrats rapidement et avec une grande précision. Ceci est réalisé par l'etchesource et ashersource, deux sources distinctes de plasma qui peuvent être utilisées en combinaison ou consécutivement pour la gravure et le cendrage de haute précision. En ayant à la fois une source de polarisation DC et une source de micro-ondes, les utilisateurs peuvent exécuter simultanément des processus de gravure et de cueillette, ce qui permet des temps d'exécution plus courts. SEZ/LAM RESEARCH SP 304 utilise également une conception à double chambre qui offre un chargement de substrat plus facile et un meilleur accès au pont supérieur. La chambre supérieure a de multiples objectifs et est équipée d'un chauffe-plaques en quartz pour un contrôle précis de la température. Ceci assure une température de substrat constante pour une meilleure répétabilité du procédé. SEZ SP 304 est un graveur/asher puissant qui fournit un débit et une précision exceptionnels pour une variété de matériaux semi-conducteurs. Avec son outil de contrôle scalaire avancé, sa conception double chambre et ses caractéristiques de gravure et de cendrage améliorées, il offre une plate-forme fiable et répétable pour produire des substrats gravés/cendrés avec une grande précision et un débit constant.