Occasion SEZ / LAM RESEARCH SP 304 #9093794 à vendre en France

L'équipement SEZ/LAM RESEARCH SP 304 etcher/asher est un outil utilisé pour la gravure et l'ashing de matériaux de substrat pour le processus de fabrication de semi-conducteurs. Il est capable de réaliser une variété d'étapes de procédé, telles que la gravure humide, la gravure sèche, le décapage photorésiste et la gravure de bande de résistance. Le système dispose de deux modules de processus indépendants, chacun avec sa propre unité de contrôle indépendante. Le premier module est une station de gravure, utilisée pour la gravure des matériaux du substrat. Il dispose de processus de gravure programmables, tels que la gravure ionique réactive, la gravure plasma et la gravure sèche. Le poste de gravure est également capable d'effectuer des étapes de nettoyage et de sélectivité, telles que le trempage d'oxyde, le décapage de résine photosensible et la gravure de bande de résistance. Le deuxième module est une station ashing. Il est utilisé pour l'élimination des photorésistants, polyimides et autres matériaux organiques du matériau du substrat. Cette fonctionnalité permet de réaliser très rapidement des processus de lithographie sans masque. Les deux modules de processus sont conçus pour un débit maximum et la flexibilité. Ils disposent de systèmes avancés de contrôle des processus qui assurent un contrôle précis de la température et de la puissance. En outre, chaque module est équipé d'une capacité de chasse rapide, ce qui permet une gravure et un cendrage rapides en plein champ. Par ailleurs, les deux modules disposent d'une machine intégrée de détection de point d'extrémité, qui peut détecter la fin de toute étape de gravure ou de cueillette et ajuster le processus en conséquence. SEZ SP 304 est un outil robuste qui fonctionne de manière sûre et fiable, avec un minimum de maintenance de l'utilisateur requis. L'actif est conforme aux normes de sécurité et environnementales, telles que IS09001 et SEMI S2. Son faible coût et sa conception compacte en font un choix idéal pour les marques établies et émergentes. LAM RESEARCH SP 304 etcher/asher est un équipement très polyvalent, capable d'effectuer de nombreuses étapes de processus. Il donne aux fabricants la capacité de graver et de cendres avec d'excellents rendements, tout en fournissant des résultats cohérents et fiables. C'est un outil économique et efficace qui garantit la qualité du processus de fabrication des semi-conducteurs.