Occasion SEZ / LAM RESEARCH SP 323 #293824790 à vendre en France

SEZ/LAM RESEARCH SP 323 est un graveur/asher conçu pour une large gamme d'applications de gravure de matériaux et d'ashing. Cet équipement est optimisé pour un débit élevé et convient pour des applications de retournement rapide. Ce système peut traiter des plaquettes de différentes tailles et matériaux avec une chambre de processus multi-chambres de 12 pouces. SEZ SP 323 est construit avec la technologie la plus récente et dispose de SEZ breveté Multi-Reactor Technology TM, qui permet la livraison de différentes chimiographies de gravure et de cendrage dans une chambre. Il est également conçu avec des sources de plasma RF et DC de pointe pour assurer des résultats de processus uniformes et reproductibles entre les plaques et les chambres. Cette unité fournit un contrôle de précision avec un haut niveau de répétabilité pour les applications de lots de plaquettes. LAM RESEARCH SP323 offre également une large gamme de fonctions de support de processus telles que la surveillance de la pression, le contrôle de la température, la surveillance de l'humidité, la filtration des particules et l'émission de vapeur. La machine fournit également une plate-forme pour les paramètres de processus configurables par l'utilisateur et l'intégration des solutions de cartographie RF wafer. Cela permet un contrôle précis des paramètres de processus dans les différentes chambres, donnant aux ingénieurs de processus une plus grande liberté de construire la recette et de maintenir la cohérence de processus lot après lot. SP323 est conçu avec une interface utilisateur complète, avec une interface graphique intuitive et une connectivité de base de données, permettant aux utilisateurs de personnaliser facilement les recettes et les paramètres de traitement. Cet outil offre également une surveillance et un contrôle à distance flexibles, y compris l'accès aux données en temps réel et les capacités de déclaration. Dans l'ensemble, SEZ/LAM RESEARCH SP323 est une solution de graveur/cendrier idéale pour une large gamme d'applications de gravure et de cendrage de matériaux. Il offre un contrôle avancé des paramètres de processus, répétable avec précision, des résultats de processus, un large support de processus et une interface utilisateur intuitive, ce qui le rend hautement adapté aux processus de fabrication complexes et rapides.