Occasion SEZ / LAM RESEARCH SP 323 #9211042 à vendre en France

SEZ/LAM RESEARCH SP 323 est un graveur/asher conçu pour la gravure à sec et la cueillette du silicium, du cuivre, du verre et d'autres matériaux. Il dispose d'une chambre recouverte de quartz, de grande surface, chauffée jusqu'à 2450 ° C pour la gravure plasma haute densité. Il fonctionne sous plasma haute densité (HDP) et a un taux de dépôt impressionnant allant jusqu'à 10A/min. SEZ SP 323 propose une gamme de chambres à choisir, en fonction de la taille de l'objet et du type de gravure/cendre à effectuer. Avec une plage de vide de 10-5 torr à 10-4 torr et une puissance de puissance allant jusqu'à 40kW (lorsque pompé à une fréquence RF autour de 13,56 MHz, il est idéal pour les travaux de gravure complexes. Pour éviter les dommages aux surfaces délicates, la chambre fournit également un canon à électrons et des parois rétrofusées en azote pour s'assurer qu'il n'y a pas de contamination chimique. LAM RESEARCH SP323 se compose de deux chambres : une chambre à vide et un générateur RF. La chambre à vide est fermée de façon étanche pour assurer des conditions de traitement uniformes. La chambre est en quartz, qui offre une durée de vie plus longue et une meilleure précision de traitement pour les applications critiques. Le générateur RF envoie des ondes radiofréquences dans la chambre, permettant un contrôle précis des paramètres du processus. SEZ/LAM RESEARCH SP323 est équipé d'une variété d'outils de diagnostic tels que les systèmes de spectroscopie RF numérique quad et numérique, la sonde Faraday, le système de spectrométrie de masse et le diagnostic plasma assisté par ordinateur. Ces systèmes permettent de mesurer avec précision des caractéristiques telles que la température des électrons, la température des ions, les espèces plasmatiques et la densité, ainsi que les rapports réactifs/produits. Cela aide l'utilisateur à déterminer les meilleures conditions de traitement pour la tâche à accomplir. Dans l'ensemble, SP 323 est un graveur/asher haute performance conçu pour gérer même les travaux les plus exigeants de gravure sèche et ashing. Avec sa chambre à quartz de grande surface, ses parois refroidies à l'azote et son générateur RF, la machine offre un environnement optimal pour la gravure et la cueillette du silicium, du cuivre, du verre et d'autres matériaux. En outre, son taux de dépôt élevé le rend adapté à des environnements de production à haut volume.