Occasion SEZ / LAM RESEARCH SP 4300 #293821688 à vendre en France

SEZ/LAM RESEARCH SP 4300 est un graveur/asher complet conçu avec une productivité et des capacités de processus avancées pour la fabrication de semi-conducteurs. Ce modèle peut supporter une grande variété de processus de gravure et d'ashing, y compris la gravure par ions réactifs profonds (DRIE) et le polissage mécanique chimique (CMP) pour enlever le matériau rapidement et avec précision. Équipé d'outils avancés de contrôle des processus, le SEZ SP 4300 est une solution idéale pour les environnements de production à haut rendement. LAM RESEARCH SP 4300 est construit avec une chambre de processus fiable conçue avec la technologie des capteurs thermiques. Cette chambre est capable de fonctionner à basse ou haute pression, avec une gamme de températures et de mélanges gazeux, permettant la gravure ou l'ashing des emplois de production les plus exigeants. La chambre est également conçue avec des composants nettoyables pour minimiser la contamination des particules, de sorte qu'aucun cycle de nettoyage supplémentaire ne sont nécessaires. La chambre est équipée d'un transducteur de pression à quartz de haute précision et d'un vaporisateur ICR actif pour un contrôle précis des processus de gravure et de cueillette. Au-dessus de la chambre de process, SP 4300 dispose d'une gamme d'outils de process avancés pour s'assurer que le rendement le plus élevé est atteint. La machine est équipée d'un sous-système de transport, qui est conçu pour transporter avec précision les cassettes de wafer dans toute la chambre de processus avec une vitesse et une fiabilité maximales. SEZ/LAM RESEARCH SP 4300 offre le choix d'un équipement optionnel de contrôle automatisé des gravures (ECS) qui utilise des algorithmes et des logiciels propriétaires pour contrôler avec précision le débit de gaz, la température et d'autres paramètres de gravure/ashing. Il dispose également d'une interface informatique pour permettre la surveillance à distance et l'enregistrement des données des paramètres de processus. Cette machine de pointe est également conçue avec des caractéristiques qui permettent une productivité maximale. La SEZ SP 4300 est équipée d'un système de contrôle du temps de cycle rapide qui permet de réduire les temps de gravure et d'ashing pour augmenter le débit. La machine dispose également d'un bloc de chargement avancé, qui assure un chargement et un déchargement rapides et fiables des plaquettes avec un maximum de sécurité pour l'opérateur. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH SP 4300 est une machine de graveur/asher hautement capable avec des fonctions avancées de contrôle des processus et de productivité pour un rendement maximal et la précision dans la fabrication des semi-conducteurs. Avec son fonctionnement fiable et peu coûteux et ses excellents outils de contrôle des processus, ce modèle est une solution idéale pour tout environnement de production.