Occasion SEZ / LAM RESEARCH SP 4300 #9276828 à vendre en France

SEZ / LAM RESEARCH SP 4300
ID: 9276828
Taille de la plaquette: 12"
Etcher, 12" (4) Chambers.
SEZ/LAM RESEARCH SP 4300 est un graveur/asher automatisé avancé qui est conçu pour des exigences de gravure et d'ashing précises et efficaces dans la fabrication de semi-conducteurs et de dispositifs optoélectroniques. Il utilise une source de plasma d'oxygène alimentée par diffusion à trois zones pour fournir une efficacité de gravure/cueillette significativement plus grande. De plus, l'équipement est capable de fournir une concentration réglable d'espèces réactives, permettant un meilleur contrôle de l'opération de gravure/cueillette et du résultat final. Le système est composé d'un module Asher/Etcher, d'un contrôleur réseau et de divers composants, tels qu'une chambre à vide, une barre de traction, une unité de gestion du réactif pulvérisé, une carte d'interface, des alimentations et une pompe à vide. Le module Asher/Etcher est chargé de fournir le plasma en utilisant une source de plasma d'oxygène avec des pouvoirs de diffusion et de dissociation. Pour faire fonctionner la SEZ SP 4300, la chambre à vide est remplie de gaz désiré, tels que l'asargon, le xénon ou l'oxygène. Le gaz ionisé réactif pénètre alors dans la chambre, où il rencontre un amplificateur de puissance RF propriétaire après quoi le plasma est introduit. Ce plasma crée un champ homogène et uniformément réparti dans l'enceinte, permettant des opérations de gravure et de cueillette précises. Le contrôleur réseau fournit l'interface utilisateur et le logiciel de contrôle des opérations de gravure et de cueillette. LAM RESEARCH SP 4300 est capable de produire des procédés de gravure sèche et humide, ainsi que des procédés chimiques et gazeux, selon les besoins opérationnels. En outre, il dispose d'une machine de distribution de gaz en quatre étapes qui permet un ajustement reproductible et précis des concentrations de procédé désirées. En outre, l'outil dispose d'une large gamme de paramètres opérationnels réglables disponibles, permettant une grande flexibilité. En conclusion, SP 4300 est un graveur/asher puissant, ergonomique et efficace qui est conçu pour les opérations de gravure et de cueillette automatisées précises et efficaces des semi-conducteurs et de la fabrication optoélectronique. Avec sa large gamme de réglabilité et de flexibilité, SEZ/LAM RESEARCH SP 4300 offre beaucoup de précision et de contrôle dans la gravure et le cendrage, ce qui en fait une solution idéale pour toute exigence de gravure/cendrage.
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