Occasion SEZ / LAM RESEARCH SP 4300 #9397344 à vendre en France

SEZ/LAM RESEARCH SP 4300 est un graveur/asher utilisé pour le traitement de divers matériaux dans l'industrie des semi-conducteurs. Il est conçu pour un haut débit, permettant des processus technologiques de pointe dans les applications les plus exigeantes. Doté d'une grande chambre de traitement et d'une configuration multi-outils, le SEZ SP 4300 est une plate-forme polyvalente pour une gamme de processus de gravure et de cueillette. LAM RESEARCH SP 4300 fournit un contrôle précis du traitement de surface avec ses systèmes de contrôle plasma de précision avancée, qui comprend une variété de configurations RF RF/DC. Son uniformité et sa couverture totale en plaquettes sont améliorées grâce à une source unique de plasma à port multipon couplé inductivement (ICP). Son contrôle automatisé innovant des points d'extrémité et ses systèmes sophistiqués de contrôle de la puissance en boucle fermée garantissent des résultats précis, même lors du traitement avec des matériaux volatils ou d'autres matériaux difficiles à graver. Le SP 4300 dispose d'une chambre de processus auto-charge/déchargement, qui assure un débit constant et élevé et peut manipuler des plaquettes de grande taille jusqu'à 8 pouces de diamètre. Le système de fermeture auto-charge/déchargement du couvercle prévient la contamination et maintient les champs sur la plaquette propres et uniformes. Un substrat chauffé et un mandrin d'échantillon, associés à des systèmes avancés de contrôle des processus, permettent un contrôle fiable des processus et de la température. SEZ/LAM RESEARCH SP 4300 est également conçu pour un entretien facile avec des chambres amovibles et des sous-ensembles pour un nettoyage et un remplacement faciles. SEZ SP 4300 est livré avec une gamme d'options, y compris un Robot Wafer Handlers intégré pour les transferts de plaquettes robotiques et un Work Chamber Safety System pour protéger le personnel et les machines en surveillant les conditions atmosphériques. Avec ses systèmes complets de contrôle des processus, sa grande chambre de traitement et sa gamme d'options, LAM RESEARCH SP 4300 est un outil idéal pour les processus de gravure et d'ashing les plus avancés.