Occasion SHIBAURA µASH 8100 #9234515 à vendre en France
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ID: 9234515
Taille de la plaquette: 8"
System, 8"
(2) Chambers
Processing type: Vacuum
Mass flow controller (MFC):
Gas number / Gas name / MFC Size (SCCM)
Gas 1 / O2 / 2000
Gas 2 / O2 / 2000
Gas 3 / CF4 / 20
Gas 4 / CF4 / 20
Gauge:
MKS Baratron 626A
Range: 1.333kPa
NS FFU-222 System
DAIHEN CMC-10 Tuning control
DAIHEN SGP-10B RF Generator
DAIHEN SGM-10A Matcher.
SHIBAURA µASH 8100 est un appareil de gravure autonome et thermiquement perfectionné conçu pour la fixation précise des plaquettes. Ce système permet une flexibilité et des performances supérieures lors de la gravure de motifs sur des substrats fragiles et délicats. Il s'agit d'un graveur de traitement complet en ligne, fonctionnant en mode de traitement par lots autonome ou parallèle. L'ensemble comprend une plate-forme de travail principale montée sur un cadre, une chambre de gravure contenant la plaquette à graver, et une chambre de refroidissement séparée. La plate-forme de travail principale est équipée d'une technologie unique de reconnaissance de mouvement pour obtenir la précision de motif requise. Cette technologie permet à la plate-forme de détecter et de suivre des micro-motifs et de maintenir une précision rigide pour une variété de formes et de tailles de plaquettes. La chambre de gravure rectangulaire est conçue pour le refroidissement et le chauffage uniformes pendant le processus de gravure et dispose d'une machine spéciale de contrôle de la température pour réguler la température efficacement. Il permet une répartition uniforme de la température et une gravure uniforme sur toute la surface de la plaquette. La chambre de gravure dispose également de broches électrostatiques pour aligner avec précision les plaquettes pour un balisage de haute précision. Μ ASH 8100 dispose d'un outil informatisé de contrôle des processus pour la surveillance et le contrôle précis de l'ensemble du processus de gravure. Cet atout est doté d'un détecteur à double canal à haute sensibilité pour détecter les motifs avec plus de précision et d'une interface graphique intuitive pour faciliter le fonctionnement. Le contrôle informatisé des processus offre également à l'utilisateur des options supplémentaires telles que le traitement automatisé, la possibilité de stocker plusieurs processus et la possibilité de basculer entre les options de menu de processus. La chambre de refroidissement de SHIBAURA µASH 8100 est bien scellée, assurant une étanchéité suffisante au refroidissement et à la ventilation. L'ensemble du modèle de refroidissement est alimenté par un ventilateur refroidi par air monté à l'arrière de la chambre de refroidissement. Ce ventilateur permet un refroidissement ou un chauffage rapide des plaquettes avant la gravure. Μ ASH 8100 est un équipement de gravure tout-en-un et convivial qui est conçu pour le traitement complet des substrats. Son système de régulation de température, de reconnaissance des mouvements et de contrôle informatisé des processus assure une grande précision et fiabilité lors de la gravure de substrats fragiles et délicats. Sa chambre de refroidissement protège les plaquettes contre les dommages thermiques et assure une gravure uniforme sur toute la surface de la plaquette. Il est donc idéal pour les applications où la précision et la précision sont requises.
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