Occasion SHIBAURA µASH 8100 #9234516 à vendre en France

Fabricant
SHIBAURA
Modèle
µASH 8100
ID: 9234516
Taille de la plaquette: 8"
System, 8" (2) Chambers Processing type: Vacuum Mass flow controller (MFC): Gas number / Gas name / MFC Size (SCCM) Gas 1 / O2 / 2000 Gas 2 / O2 / 2000 Gas 3 / CF4 / 20 Gas 4 / CF4 / 20 Gauge: MKS Baratron 626A Range: 1.333kPa NS FFU-222 System DAIHEN CMC-10 Tuning control DAIHEN SGP-10B RF Generator DAIHEN SGM-10A Matcher.
SHIBAURA µASH 8100 est un équipement de gravure et de cueillette qui utilise les techniques de rayonnement infrarouge et d'excitation du rayonnement pour assurer la gravure et la cueillette simultanées de divers matériaux. Le système a des émissions sensibles de l'infrarouge jusqu'à environ 200nm, qui peuvent être utilisées pour graver et asher un large éventail de matériaux inorganiques et organiques. L'unité nécessite typiquement un temps d'alignement inférieur à 5 minutes pour établir la focalisation précise du rayonnement utilisé pour la gravure et l'ashing, ce qui fournit un procédé très efficace. Μ ASH 8100 a une vitesse de gravure très rapide qui peut atteindre jusqu'à 35000 nm/min sur une plus grande surface de 5x5 cm, permettant un temps de gravure et de cueillette plus rapide et plus précis. De plus, la machine est capable d'appliquer du gaz supplémentaire sur la zone cible, permettant un contrôle de gravure plus précis et précis du matériau traité. La commande de SHIBAURA µASH 8100 est assurée via un PC connecté à l'armoire de commande. Cela permet à l'utilisateur de définir les paramètres de travail désirés, tels que le temps de gravure et de cueillette, la température et la pression de la chambre. L'outil dispose également d'une fonction d'accès à distance qui permet à un technicien de surveiller la performance des actifs à distance, permettant un grand niveau de capacité diagnostique. Μ ASH 8100 est construit avec un modèle de sécurité connu sous le nom de Surround Signal Equipment, qui assure la protection de l'utilisateur contre les rayonnements et autres gaz dangereux. En outre, le système comprend une unité de pré-filtrage multi-étages qui assure la pureté de la chambre de travail, et un écran LED qui fournit une vue claire des paramètres de fonctionnement actuels. La machine comprend un manuel qui fournit des instructions complètes sur son installation, son fonctionnement et son entretien, qui est simple et simple. En outre, le manuel fournit également des diagrammes détaillés, des diagrammes des pièces et des informations d'entretien. SHIBAURA µASH 8100 est un outil idéal pour les utilisateurs qui cherchent à graver rapidement des matériaux pour la recherche, le développement et la production. Sa vitesse de gravure rapide, sa surveillance à distance et ses fonctions de contrôle permettent aux utilisateurs de modifier rapidement les matériaux pour de nombreuses applications.
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