Occasion SHIBAURA CDE 7-3A #9226076 à vendre en France

SHIBAURA CDE 7-3A est un graveur/asher conçu pour les applications de gravure ionique réactive (RIE) et de cendrage plasma. Cette unité est équipée d'une turbomachine de 12 po de diamètre, offrant une vitesse de gravure/cueillette maximale de 100nm/min. Il est également équipé d'une source d'énergie RF à faible bruit, qui fournit entre 1 et 600 W de puissance à fréquence 13.56MHz. En outre, CDE 7-3A dispose d'une chambre à vide avec un espace intérieur qui mesure 11 pouces-L x 7,5 pouces-W x 7,5 pouces-H et l'unité est capable de fonctionner dans un environnement sous vide de 10-4 Pa. L'unité comprend un système de dosage et d'alimentation en gaz, qui permet un contrôle précis des conditions de réaction. La combinaison de la source d'énergie RF à faible bruit, du système de dosage et d'alimentation en gaz et de la turbomachine permet une gravure et un cendrage précis. Le SHIBAURA CDE 7-3A possède également un capteur de pression variable, un bouclier granulaire et une gamme d'éléments chauffants, qui peuvent être utilisés pour sélectionner la pression optimale, supprimer les réactions secondaires et atteindre des températures élevées, respectivement. En outre, l'unité possède une mémoire qui stocke les recettes et les conditions de traitement. L'etcher/asher bénéficie également d'un écran tactile LCD intuitif, qui est utilisé pour contrôler les paramètres de traitement en plus de la mémoire de recette. Dans l'ensemble, CDE 7-3A fournit une plate-forme fiable pour la gravure et la cueillette des matériaux avec une vitesse de gravure/cueillette maximale de 100nm/min et une pression de fonctionnement maximale de 10-4 Pa.