Occasion SHIBAURA CDE 80N #293762560 à vendre en France
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SHIBAURA CDE 80N est un graveur/asher haute performance avec des capacités complètes pour une large gamme d'applications. Il est conçu pour la gravure ionique réactive profonde (DRIE) et a la capacité de graver et d'asher le polysilitième, le verre et d'autres matériaux. Grâce à ses technologies sophistiquées de génération de plasma au laser, SHIBAURA peut être utilisé pour des applications de haute précision telles que les MEMS et les microsystèmes. CDE 80N est un design unique de graveur/asher, composé d'une feuille ultra-mince doublant tous les côtés et perforé par une matrice unique de panneaux de fenêtres béryllium compatibles sous vide. Ces fenêtres permettent le passage de particules chargées et d'espèces réactives dans la chambre du dispositif, permettant à la fois la gravure ionique et le cendrage localisé. Cette conception permet une gravure et un cendrage très précis, avec une précision ± 10 nm. Les niveaux de puissance du SHIBAURA CDE 80N peuvent atteindre jusqu'à 500 W, ce qui permet une gravure profonde jusqu'à 45 µm. La largeur du processus de gravure peut varier de 0,2 µm à 100 µm et la vitesse de gravure varie d'une précision de 0,2 µm/min à 30 µm/min. De plus, le dispositif est configuré pour une large gamme de compositions gazeuses et de pressions de chambre, permettant une variété de techniques de gravure et de cueillette. Le CDE 80N est également équipé de systèmes de sécurité complets pour protéger contre les blessures et les dommages matériels. Parmi ceux-ci, un système de détection de gaz multi-points, plusieurs détecteurs de température, capteurs de pression et extincteur intégré avec bras robotique. En plus de ses capacités extraordinaires de gravure et d'ashing, SHIBAURA CDE 80N dispose également d'un générateur RF gyroscopé multimode, lui permettant d'effectuer une gravure ionique réactive (RIE), une gravure directe sèche ou humide, une gravure descendante et une gravure ionique réactive profonde (DRIE). CDE 80N est l'outil idéal pour tous les processus de gravure et d'ashing, avec la précision, la précision et les caractéristiques de sécurité pour toutes les technologies micro-gravées et ablatées par laser. Avec son générateur avancé à fréquence variable, son générateur RF à commande gyroscopique multimode et ses parois doublées de feuilles uniques, SHIBAURA établit la norme pour la gravure et le cendrage. En outre, SHIBAURA CDE 80N fonctionne avec un niveau sonore de seulement 70 dB, ce qui en fait l'un des graveurs et cendriers les plus silencieux du marché.
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