Occasion SHIBAURA CFS-12P-100H #32091 à vendre en France

SHIBAURA CFS-12P-100H est un graveur/asher de pointe qui permet aux utilisateurs d'obtenir des résultats de gravure et d'ashing supérieurs en utilisant une combinaison de techniques spécialisées de traitement du plasma, du gaz et de la chaleur. CFS-12P-100H est capable de produire à la fois la gravure isotrope et anisotrope et la cendre d'un large éventail de matériaux, y compris le silicium, le verre, la céramique et le métal. L'unité est conçue pour le montage direct dans une salle blanche de classe 100 ou de classe 1000 et sa performance a été testée pour une cadence de production de 100 pièces par heure. La chambre de procédé de l'unité est construite en acier inoxydable et équipée d'une chambre à vide étanche, d'un tube à quartz/cathode, d'un chauffage et d'une plaque à quartz. De plus, une conception unique à double joint empêche la contamination entre les chambres, tandis que l'équipement avancé de distribution de puissance RF permet un contrôle précis de la puissance d'entrée tout au long du cycle de processus. Le système de recuit et de nettoyage utilise un réchauffeur céramique et un échangeur de chaleur intégré pour assurer un contrôle précis de la température et l'élimination des dépassements thermiques. SHIBAURA CFS-12P-100H est également équipé d'une unité de distribution de puissance RF variable avancée, offrant un contrôle supérieur de la puissance de sortie, tandis qu'une machine à plasma à double cavité unique permet une profondeur maximale de gravure et un fonctionnement à basse température. CFS-12P-100H est également compatible avec une variété de gaz et de produits chimiques, ce qui le rend idéal pour une large gamme d'applications de gravure et de cendrage. L'unité a été conçue pour la sécurité et la fiabilité, avec plusieurs dispositifs de sécurité pour protéger la chambre de processus, le générateur RF et l'utilisateur contre les risques possibles et un arrêt automatique intégré en cas d'urgence. Dans l'ensemble, SHIBAURA CFS-12P-100H est un graveur/asher avancé conçu pour des performances de gravure et d'ashing supérieures, permettant aux utilisateurs d'obtenir des résultats de la plus haute qualité de la manière la plus sûre.