Occasion SHIBAURA ICE 300 #9405111 à vendre en France
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ID: 9405111
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2005
Asher, 12"
Gases: O2, N2
SMIF Loader
APC Pressure control
Strong electric board
Atmospheric loader
ASYST LP
Power supply:
KYOSAN RF Power supply: 5 kW
KYOSAN Vias RF Power supply: 1 kW
2005 vintage.
SHIBAURA ICE 300 est un système plasma à gravure sèche et à assistance chimique utilisé pour le micro-tissage de haute précision. Cet équipement est bien adapté pour une utilisation dans le milieu universitaire, la microélectronique et la bio-fabrication. Il s'agit d'un graveur/asher polyvalent, fiable et convivial adapté à une large gamme de matériaux tels que les semi-conducteurs, les verres et la céramique. ICE 300 est construit avec un générateur électrique 13.56MHz, fournissant une gravure précise et efficace des matériaux jusqu'à l'échelle nanométrique. Le générateur offre également un contrôle de pression très stable pour obtenir des profondeurs de gravure précises. Le générateur est relié à une chambre de pression, une source d'argon, d'oxygène et/ou d'azote et un système de dépôt hyperfréquence, donnant à l'outil une manipulation précise de la profondeur de gravure, du niveau du masque, de l'angle de gravure et de la largeur de gravure. SHIBAURA ICE 300 dispose d'un canon à faisceau d'électrons qui sert à définir les bords et les limites du masque. Il a un système de mouvement d'échantillon à gradient optique qui peut définir rapidement et avec précision l'angle de gravure désiré. Il dispose également d'un contrôle de puissance RF en boucle complète qui permet à l'utilisateur d'obtenir rapidement la gravure souhaitée et de répéter leurs résultats avec une grande précision et répétabilité. Par souci de sécurité, ICE 300 dispose d'une fenêtre réfléchissante qui empêche les particules à haute énergie de frapper le personnel pendant le processus de gravure et de cueillette. C'est un processus en boucle fermée qui a beaucoup de redondances en place pour prévenir tout accident majeur. SHIBAURA ICE 300 est un outil polyvalent capable de graver une variété de matériaux tels que des plaquettes d'alumine et de silicium, des SiO2/SiN, des polymères et des matériaux organiques. Il offre également d'excellentes possibilités de fabrication de micro-motifs, y compris des fonctionnalités jusqu'à 50µm. C'est aussi un graveur convivial, c'est pourquoi il est adapté aux applications de microélectronique et de bio-fabrication. En conclusion, ICE 300 est un excellent graveur et asher pour la microélectronique, la bio-fabrication et d'autres applications de laboratoire. Il offre des caractéristiques précises et une répétabilité supérieure et est un outil fiable et convivial pour diverses applications.
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