Occasion SHIBAURA U-ASH8100 #9226215 à vendre en France

SHIBAURA U-ASH8100 est un équipement de gravure et de cendrage à haute performance avec une excellente flexibilité et uniformité de processus. Ce système utilise les faisceaux d'ions et l'impact des électrons pour graver et aspirer efficacement une variété de matériaux, y compris le silicium, bas k, et les photorésistes avancés. L'etcher est équipé d'une interface utilisateur fiable, facile à utiliser et intuitive qui rend le traitement simple et efficace. Il peut être configuré avec jusqu'à trois chambres de traitement et peut être exploité soit en chambre simple, soit en chambre double. L'etcher dispose également d'une séquence avancée de nettoyage de la chambre, qui élimine efficacement les résidus de particules et de films de la chambre de traitement, améliorant considérablement la fiabilité du processus. SHIBAURA U ASH8100 utilise une tension de radiofréquence allant jusqu'à 2000V pour graver et aspirer efficacement des couches minces. Cela permet des gravures profondes et uniformes et le cendrage de matériaux en couches minces dans une large gamme de températures de traitement. Cette machine polyvalente peut fonctionner avec un injecteur de gaz unique ou double, permettant un large éventail de procédés, y compris la gravure d'ions réactifs (RIE), la gravure par faisceau d'ions (IBE) et la désorption thermique assistée par faisceau d'ions (IBT). UASH 8100 comprend également une bride d'aspiration pour une intégration facile avec d'autres systèmes d'aspiration. Cela permet à l'utilisateur de créer des systèmes modulaires qui peuvent ensuite être automatisés. Le graveur et les stations ashing peuvent aussi être contrôlés et contrôlés à distance, par RS485 ou par ethernet a basé des communications. U-ASH8100 est conçu pour fonctionner entre 30 mTorr et 2 Tor ainsi que des températures allant jusqu'à 1000 degrés Celsius. L'outil est également équipé d'un module d'accord multifréquence avancé, qui permet à l'utilisateur d'ajuster la fréquence de gravure/ashing selon les besoins pour des applications spécifiques. Cela améliore également la répétabilité et l'uniformité des processus, assurant des résultats cohérents. SHIBAURA UASH 8100 est un excellent choix pour graver et aspirer des films minces, fournissant des résultats fiables et uniformes. Son interface intuitive facilite son fonctionnement et sa répétabilité et sa flexibilité en font un atout idéal pour les applications industrielles et de recherche. U ASH8100 est un modèle idéal pour les utilisateurs qui ont besoin d'une solution de gravure/cueillette fiable et efficace.