Occasion SPP MUC 21-098 #9239652 à vendre en France

Le SPP MUC 21-098 est un équipement spécialisé utilisé principalement dans l'industrie des semi-conducteurs pour la gravure et/ou la cueillette. Il a une construction de chambre tridimensionnelle, avec un grand volume de manutention avec la capacité de traiter des échantillons jusqu'à 6 "de diamètre - améliorant grandement la capacité de débit. L'etcher/asher offre une multitude d'options d'automatisation, telles que le traitement contrôlé par ordinateur et l'architecture ouverte pour la robotique et la gestion des données. Il est équipé d'un générateur RF à trois sources, à deux étages, avec une gamme de fréquences allant de 13,56 MHz à 50 MHz, et la capacité d'effectuer un processus optimisé pour produire des résultats répétables. La source de plasma est conçue pour traiter à la fois le PCI et les modes de fonctionnement couplés capacitivement. Les gaz sont chauffés par un tube à quartz couplé inductivement à plasma (ICP), avec un contrôle indépendant de la puissance de la tige centrale et des anneaux de confinement, permettant une surveillance optimisée du processus. Le processus de cueillette repose sur une source de gravure RF, ainsi que sur un système de distribution de gaz à aimantation pour une gravure de substrat uniforme dans toute la chambre. Une option d'obturateur automatisé garantit en outre la précision et la répétabilité, avec la possibilité de basculer entre quatre directions différentes au besoin. MUC 21-098 intègre également une source supersonique multimode afin d'obtenir des taux de gravure plus élevés et un contrôle précis du profil. La buse supersonique fonctionne en trois modes, adaptés aux exigences du processus, permettant des murs propres, lisses et ronds. SPP MUC 21-098 supporte en outre une excaption d'échantillon optionnelle, avec un dispositif de mouvement d'étage de précision qui peut supporter des hauteurs d'échantillon allant jusqu'à 25 mm. L'échantillon permet d'assurer une gravure uniforme et des lignes d'interconnexion uniformes. Enfin, le MUC 21-098 dispose d'un système de sécurité intégré, composé d'une porte d'accrochage de pression et d'un capteur de proximité. Cela garantit que le graveur/asher est toujours actionné en toute sécurité et en toute sécurité.