Occasion SPPT / SPTS CPX-APS #293648886 à vendre en France

SPPT/SPPT/SPTS CPX-APS est un graveur/asher avancé utilisé pour des procédés tels que la gravure au silicium, la gravure SILC, la gravure au tungstène et la gravure à l'aluminium. Cet équipement est parfait pour les processus de gravure les plus avancés, y compris les processus à haut rapport d'aspect et à haute sélectivité. Il fonctionne à l'aide d'une combinaison unique de sources d'énergie radiofréquence (RF) et de courant continu (DC), ce qui permet un meilleur contrôle du processus et une plus grande précision. SPPT CPX-APS est un système de chambre de gravure entièrement intégré et robuste conçu pour les processus de gravure et de dépôt en couches minces (TFD) dans une seule unité. Il est équipé d'un écran tactile convivial Contrôle de l'interface machine humaine (HMI) qui peut facilement être programmé pour plusieurs séquences gravure/cendres en un seul processus. Ce graveur/cendrier offre une large gamme de paramètres de procédé, y compris des températures de chambre jusqu'à 250 * C, des pressions de gravure/cendres jusqu'à 187 mTorr, et une combinaison de chimiographies argon/oxygène pour une performance optimale du procédé. SPTS CPX-APS offre une excellente uniformité de processus, répétabilité et vitesse pour la fabrication au niveau IC. Le graveur/asher dispose d'une unité de nivellement du taux d'oxydation de 200nm qui permet une gravure très uniforme des caractéristiques sans sacrifier la vitesse. La machine est également capable de gravure de tranchées profondes et des rapports d'aspect jusqu'à 10:1 et plus. En outre, il existe une capacité de gravure/profilage 3D avec contrôle optimisé des processus pour produire une répétabilité et une précision de processus très élevées avec une dégradation IC minimale. Le CPX-APS est conçu pour répondre aux exigences de sécurité strictes des IC. L'outil dispose d'un bouclier de sécurité innovant pour détecter avec précision les dysfonctionnements du processus et fournir des notifications en temps réel. Il dispose également d'un modèle d'entretoise à vide intégré qui évite les dommages par IC non effaçables en fermant automatiquement la chambre en cas de surgravure ou de dégazage. SPPT/SPTS CPX-APS est également équipé d'une variété d'outils de diagnostic avancés, y compris des diagnostics en temps réel, des diagnostics de machine et d'état de processus, et des données de processus. Les caractéristiques et les capacités avancées de l'équipement le rendent hautement adapté à la production de haute capacité et aux exigences extrêmes des procédés. De plus, le système de contrôle de l'isolation des bords peut réduire le mouvement lent des bords, fournir une protection supplémentaire des bords et augmenter la fiabilité du dispositif. En conclusion, SPPT CPX-APS est un graveur/asher puissant et très polyvalent qui offre des capacités de gravure et d'ashing avancées avec un contrôle de processus supérieur. Il est conçu avec des caractéristiques de sécurité avancées et une large gamme de fonctionnalités conviviales, ce qui le rend parfait pour la fabrication IC. L'unité offre une répétabilité et une précision supérieures ainsi qu'une excellente performance et uniformité du processus.