Occasion SPPT / SPTS VPX Pegasus #293648861 à vendre en France
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Vendu
ID: 293648861
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 2011
System, 6"
OSAKA Vacuum turbo pump
(2) Chamber consoles
(3) Chillers
Platform console
Chamber
2011 vintage.
SPPT/SPTS VPX Pegasus est un équipement avancé de gravure et de cendrage, utilisé pour le traitement de la photolithographie à haute résolution. Développé par SPIC Technologies, ce dispositif est utilisé pour graver et cendrer des matériaux, comme le silicium, le SiO2 et les polymères, d'une manière très précise et fiable. SPPT VPX Pegasus est livré avec une gamme de caractéristiques, y compris un étage de positionnement intégré de 12 cuvettes, une chambre à vide à quartz fiable, une oxydation multi-zone, et un interféromètre laser d'extraction de capacité à haute résolution (CELIF). Tous ces composants permettent d'assurer la précision et la qualité lors de la gravure et de la cueillette des matériaux. L'étape de positionnement de 12 cuvettes permet de s'assurer que tous les matériaux gravés et cendrés sont parfaitement alignés avant d'être traités. Cela se fait au moyen d'une variété de paramètres de réglage, y compris la résolution de position et la précision, l'accélération, la vitesse et la linéarité. La chambre à vide à quartz, en revanche, offre un environnement fiable et sûr pour le processus de gravure et de cueillette. Il est composé d'une plate-forme à base solide et de parois en acier inoxydable, empêchant les vapeurs dangereuses d'entrer dans l'espace de travail. En outre, la chambre à vide à quartz est équipée d'un système de vide automatisé et d'un intérieur rempli de graphite, assurant une durée de vie extrêmement longue. L'interféromètre laser CELIF haut de gamme, est utilisé pour l'extraction de capacité à haute résolution précise. Sa capacité avancée de balayage est capable de mesurer les contaminations de surface dans le processus, tout en fournissant une rétroaction de mesure. Cela garantit que les niveaux de précision les plus élevés sont atteints et maintenus pendant le processus de gravure et de cueillette. Enfin, l'unité SPTS VPX Pegasus est également capable d'oxyder plusieurs zones grâce à sa technologie exclusive d'oxydation multi-zones. Grâce à cette technique, l'utilisateur peut appliquer une variété de procédés d'oxydation thermique sur différents types de substrats et de matériaux, ce qui permet d'obtenir l'épaisseur de couche désirée et les résultats de gravure/cueillette. Dans l'ensemble, VPX Pegasus est une machine de gravure et de cueillette puissante et fiable. Grâce à sa gamme de caractéristiques et de technologies de pointe, il est capable de fournir des résultats précis et cohérents. De la gravure, à l'oxydation ashing et même multi-zone, SPPT/SPTS VPX Pegasus est garanti de transformer tout projet de gravure et ashing en un projet réussi.
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