Occasion SPPT / SPTS VPX Pegasus #293648863 à vendre en France

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ID: 293648863
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 2011
System, 6" (2) OSAKA Vacuum turbo pumps (3) Chillers (2) Chambers Platform console Chamber console Scroll pump 2011 vintage.
SPPT/SPTS VPX Pegasus est un graveur/asher développé par SPPT Technologies, un innovateur leader dans les solutions de fabrication avancées pour les industries semi-conductrices et connexes. Ce graveur/asher polyvalent a été conçu pour effectuer des processus d'oxydation, de gravure des métaux, de dépôt et de planarisation, minimisant les dommages aux substrats et la variabilité des procédés tout en assurant une qualité constante sur plusieurs substrats. SPPT VPX Pegasus utilise un micro-positionneur, permettant aux utilisateurs de contrôler avec précision le taux de gravure, d'oxydation et de planarisation, tout en conservant uniformité et répétabilité dans le processus. Cette fonctionnalité permet un étalonnage rapide et précis du processus, augmentant le débit et la précision. De plus, l'équipement sous vide innovant et la conception de la chambre du Pegasus contribuent à réduire la contamination et à garantir des conditions plasmatiques optimales, permettant des résultats de gravure et d'oxydation supérieurs. SPTS Pegasus dispose d'un système de contrôle puissant, mais facile à utiliser, qui permet un contrôle précis du processus et de l'unité de surveillance. L'interface conviviale garantit des paramètres de processus rapides et précis, tout en offrant un accès facile aux paramètres avancés des machines et des processus. Cela permet une répétabilité et une optimisation améliorée des processus. Pour améliorer la qualité et la fiabilité, SPPT/SPTS Pegasus a également intégré des mécanismes de sécurité, y compris des contrôles automatiques de sécurité des processus et des alarmes optionnelles de sécurité et de procédure. Pour garantir les normes de sécurité les plus élevées, toutes les conditions de sécurité sont surveillées par l'outil, et tout défaut est automatiquement détecté pour une action corrective. SPPT Pegasus est un graveur/asher polyvalent capable de réaliser des processus de gravure humide et sèche, d'oxydation et de dépôt, et de planarisation. Avec son large éventail de capacités de processus, les utilisateurs ont la capacité de créer des structures complexes sur une variété de substrats et de matériaux. SPTS Pegasus est également conçu pour être configurable, ce qui signifie que les utilisateurs peuvent adapter l'actif à leurs besoins spécifiques. Cela en fait un choix idéal pour ceux qui ont besoin d'un procédé fiable et efficace pour la gravure et la planarisation de divers matériaux et substrats.
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